DH500ZZS箱式電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)適用于制備導(dǎo)電薄膜,半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、光學(xué)薄膜,高性能薄膜研究及新材料科學(xué)研究工作。其主要特點為功能強(qiáng)、鍍膜質(zhì)量穩(wěn)定、重復(fù)性好、操作簡便。
主要技術(shù)參數(shù)
1、鍍膜室體積:500×500×600mm3,特殊規(guī)格可定做;
2、極限真空度:6.7×10-5 Pa,恢復(fù)真空:從大氣抽至6.7×10-4 Pa ≤(40分鐘);
3、真空抽氣系統(tǒng):機(jī)械泵與復(fù)合分子泵組成;真空測量系統(tǒng):復(fù)合數(shù)顯真空計;
4、蒸發(fā)源:電子束蒸發(fā)源:270°E型電子槍及高壓電源,電子槍功率0~6KW可調(diào);
電阻蒸發(fā)源:銅水冷電極4根,功率:3kW/10V兩組;
5、結(jié)構(gòu)形式:立式前開門后置抽氣系統(tǒng);
6、工件烘烤溫度:室溫~800℃可控可調(diào)(PID控溫);
7、旋轉(zhuǎn)夾具:公轉(zhuǎn)或行星公自轉(zhuǎn)夾具。速度從 0r~30r/min 無級可調(diào);
8、選配件:光學(xué)膜厚測量系統(tǒng)、石英晶振測厚儀、高壓離子轟擊、霍爾離子源、冷卻水機(jī)組等;
9、供電電源:三相AC380V,50Hz;整機(jī)功率22KW。
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