VTC-16-3HD是一款緊湊型CE認(rèn)證的等離子薄膜濺射儀,基片尺寸2英寸,加熱溫度為500度和控制面板為觸摸屏模式。它可以濺射三種類(lèi)型的靶材 和放置樣品的直徑是50mm . 旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái),可以依次在同一樣品上涂覆三種材料,金靶,鋁,銅, 它可以與真空泵,不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍相連用.
技術(shù)參數(shù)
輸入功率 |
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輸出功率 |
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樣品室 | 石英罩: 160 mm Dia. x 120mm Height |
加熱樣品臺(tái) |
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控制面板 |
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可選
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進(jìn)氣口 | 一個(gè)針閥安裝在進(jìn)氣口,以實(shí)現(xiàn)更好的等離子涂層 |
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標(biāo)配靶材分別有
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外形尺寸 |
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質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,終身維護(hù)。 |
質(zhì)量認(rèn)證 | Certified |