Form Talysurf系列2
120mm位相光柵干涉粗糙度輪廓儀PGI 400簡介
1. 掃描箱
(1) 測量長度: 0.1mm-120mm
(2) 驅(qū)動: 可使用操縱桿或計算機驅(qū)動
(3) 直線度: 0.06µm +0.0037µm/mm * 水平移動長度(mm)
可選擇基準校正
(4) 移動速度: 0.5/1.0/2.5/5.0/10.0mm/秒
2. 機動立柱
(1) 材料: 環(huán)氧花崗巖
(2) 掃描箱移動高度: 450mm(標準)
(3) 驅(qū)動: 可使用操縱桿或計算機驅(qū)動
(4) 垂直移動速度: 0.3/0.5/1.0/2.0/5.0/10.0mm/秒
(5) 掃描箱傾斜: ±9o,機動
3. 基架和、基座和防震墊
(1) 工作臺材料: 環(huán)氧花崗巖
(2) 工作臺尺寸: 760×500×120mm
(3) 帶氣浮防震,臺面上有兩個T型槽
4. 傳感器
(1) 類型: 位相光柵干涉
(2) 測量量程: 4mm (使用60mm長金剛石測桿,同時測量粗糙度和輪廓)
8mm (使用120mm長球形測桿,測量輪廓)
(3) 分辨率: 4mm量程時12.8nm
(4) 量程與分辨率之比: 312,000:1
(5) 測量力: 1mN