主要用途
薄膜制備設備、大科學工程與化學分析設備;半導體封裝設備等無油抽氣系統(tǒng)的配泵;分子泵的前級泵;
醫(yī)療儀器、生物制品與藥品制備設備;食品、藥品等包裝設備; 特氣回收、液晶注入設備。
設備特點
泵內無油,可獲得清潔的真空環(huán)境;低噪音;無需水冷,耐腐蝕;操作簡便,維護費用低廉。
設備優(yōu)勢
超高加工精度,提高使用壽命;特殊動密封材料,不產生顆粒,耐磨損
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