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全自動(dòng)刻蝕機(jī)-AE12P

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公司名稱寧波潤(rùn)華全芯微電子設(shè)備有限公司
品牌
型號(hào)
所在地
廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2022/11/28 16:03:16
訪問(wèn)次數(shù)274

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

寧波潤(rùn)華全芯微電子設(shè)備有限公司(ALLSEMI)，簡(jiǎn)稱ASI，位于文化底蘊(yùn)豐厚、風(fēng)景秀麗、交通便利的寧波余姚市，在北京、武漢和廈門(mén)設(shè)有銷(xiāo)售服務(wù)分支機(jī)構(gòu)。公司匯聚了一批高素質(zhì)專業(yè)人才，致力于民族半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)的振興，專注于新型電子器件生產(chǎn)設(shè)備的研發(fā)、設(shè)計(jì)、銷(xiāo)售及售后服務(wù)。全芯公司與中國(guó)臺(tái)灣、韓國(guó)多家公司合作，可提供整線設(shè)備解決方案和電子科技領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)咨詢服務(wù)。公司通過(guò)ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證，秉承“專業(yè)、誠(chéng)信、創(chuàng)新、共贏”的經(jīng)營(yíng)理念廣泛服務(wù)于化合物半導(dǎo)體、LED、SAW、 OLED、光通訊、MEMS、*封裝等新型電子器件制造領(lǐng)域，配備了快速響應(yīng)的銷(xiāo)售和技術(shù)服務(wù)團(tuán)隊(duì)。寧波潤(rùn)華全芯微電子設(shè)備有限公司將以*可靠的產(chǎn)品，優(yōu)質(zhì)的服務(wù)贏得客戶信賴，成為一家具有國(guó)際影響力的半導(dǎo)體裝備及工藝解決方案提供商。

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

單片濕法刻蝕設(shè)備，能適應(yīng)HF,HCL,H3PO4等多種刻蝕液，可刻蝕金屬有Gr、Ni、Ti、Cu、Au等

全自動(dòng)刻蝕機(jī)-AE12P 產(chǎn)品信息

單片濕法刻蝕設(shè)備，能適應(yīng)HF,HCL,H3PO4等多種刻蝕液，可刻蝕金屬有Gr、Ni、Ti、Cu、Au等。本設(shè)備工作過(guò)程中由擺臂系統(tǒng)旋轉(zhuǎn)交替噴液，多層Cup結(jié)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)不同刻蝕液的分類排放與回收。專業(yè)的工藝腔體結(jié)構(gòu)，在刻蝕電鍍或?yàn)R射形成的金屬膜的前提下，既能保證刻蝕的均勻性、刻蝕率，還可以保證各種化學(xué)品的使用安全性。本設(shè)備能滿足縱向刻蝕深度尺寸較大，橫向刻蝕深度精度高的工藝要求，在刻蝕工藝完成后，晶圓刻蝕溝槽和深孔等圖形側(cè)壁陡直規(guī)整，均勻性可達(dá)5%以內(nèi)。晶片尺寸
2-12寸

主要技術(shù)參數(shù)
1、上下料方式：高效機(jī)械手自動(dòng)傳送
2、離心機(jī)轉(zhuǎn)速
額定轉(zhuǎn)速： 2000 rpm
最小調(diào)整量： 1rpm
轉(zhuǎn)速精度： ±3rpm（50 rpm～2000 rpm）
3、夾持方式：真空吸附
或多點(diǎn)支撐、四角夾緊、機(jī)械安全限位的方式（可選）
4、藥液回收循環(huán)使用功能。
5、刻蝕液加熱：在線加熱器，MAX： 50℃±2℃
6、背噴功能：氮?dú)猓?路
7、刻蝕液過(guò)濾器：0.2um
8、滅火系統(tǒng)：二氧化碳滅火系統(tǒng)

應(yīng)用行業(yè)
廣泛應(yīng)用于LED、分立器件、*封裝、科研等領(lǐng)域。

關(guān)鍵詞：離心機(jī) 加熱器