SS150系列掃描電子顯微鏡
一、 產(chǎn)品命名規(guī)則：
SS-150系列產(chǎn)品 放大倍率為15萬倍，相比于SS60系列產(chǎn)品，電子槍體部分略有不同，并且增加了四級(jí)可變光闌，能得到更小分辨率5nm，配置SE二次電子探測(cè)器與BSE背散射電子探測(cè)器，載物平臺(tái)可配置三軸（X,Y,R）手動(dòng)平臺(tái)，也可升級(jí)為五軸（X,Y,R,Z,T）自動(dòng)平臺(tái)，全系列產(chǎn)品均可配置EDS能譜分析儀，產(chǎn)品包括如下配置：
Item | Model | With Detector Option | WithStage Option |
Mini-SEM | SS-150 | SS-150S | SS-150S-MS |
SS-150D | SS-150D-MS | ||
SS-150D-ST |
二、簡(jiǎn)單說明：(Description)
- 放大倍率15萬倍（Magnification Max 150,000x）
- 圖像景深高，立體感強(qiáng)，分辨率高
Image depth of field high, 3D sense strong, high resolution
- 載物臺(tái)5軸操控（傾斜功能）
5-axis System ， X, Y-axis : 35mm / R-axis : 360°, Z : 0~22mm / Tilt-axis : 0~45°
- 配備四級(jí)可變光闌（30,50,50,100μm），通過調(diào)整電子束大小可提供高分辨率圖像
4 step variable sleeve aperture, High-resolution images can be provided by adjusting the beam size
- 自動(dòng)變焦，自動(dòng)調(diào)整對(duì)比度和亮度，調(diào)整電子束尺寸，消象散
Automatic focus, automaticallyadjust the contrast and brightness, adjust the electron beam size, eliminateastigmatism
- 樣品艙大，可進(jìn)行多種樣品分析，可選配EDS，BSE，馬達(dá)操控載物臺(tái)等多種配件
Large sample chamber，To observe a wide variety of sample ,Optional EDS, BSE, motor control stageａnd other accessories
三，技術(shù)參數(shù)：(Productspecifications)
分辨率（Resolution） | 5nm (30kV, SE Image) | |
放大倍率（Magnification） | 30x~150,000x | |
加速電壓（Accelerating Voltage） | 1kV to 30kV (1kV/5kV/10kV/15kV/20kV/30Kv-6step) | |
圖像檢測(cè)（Signal Detection） | 二次電子圖像-(SEI)-Secondary Electron Image | |
背散射電子圖像(選配) (BSEI)-Backscattered Electron Image(Option) | ||
觀察模式 Observation mode | Standard Mode | |
電子槍系統(tǒng)（Electron Gun） | ||
燈絲類型（Filament type） | 預(yù)對(duì)中鎢燈絲（Pre CenteredtungstenfilamentCartridge） | |
偏壓系統(tǒng)(Bias voltage system) | 自動(dòng)偏壓方式（Automatic mode） | |
電子槍校正（Electron gun alignment） | 手動(dòng)方式（Manual mode） | |
透鏡構(gòu)成（Lens system） | ||
聚光鏡（Focus Lens） | ||
