SP-MSM-4CZ是一款采用4電弧的提拉法單晶生長爐(采用Ar氣電弧對樣品熔融,提拉裝置提拉),其溫度可達3000℃。腔體為304不銹鋼腔體(帶有水冷夾層),真空度可達10-5Torr.此款單晶爐特別適合生長高熔點的單晶,如Ti單晶,YSZ,SiC和CeRh2Si等等。
性能指標和基本配置 | |
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腔體 | ● 采用304不銹鋼腔體,帶有水冷夾層,可通入冷卻水 |
真空計 | 腔體上安裝有數(shù)顯防腐真空計和機械壓力表 |
電弧槍 | ● 共有4個電弧槍,可讓樣品得到均勻的溫場(電弧槍都帶有冷卻水) |
樣品臺 | ● 采用水冷銅坩堝 |
提拉機構 | ● 控制器控制提拉機構的提拉速度,轉速和轉速 |
控制單元 | 可顯示和設置單晶生長的參數(shù)(起弧電流,提拉桿轉速,提拉行程和轉速) |
真空泵 | ● 設備中配有一分子泵系統(tǒng)(機械泵+渦旋分子泵) |
循環(huán)水冷機 | ● 功率:800W |
設備尺寸 | 800mm(L)*800mm(W)*1500mm(H) |
保修期 | 一年保修,終身技術支持。 特別提示: 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 點擊查看售后服務承諾書。 |