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OTF-1200X-50-DSL 定向CVD生長(zhǎng)爐

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  • 公司名稱深圳市科晶智達(dá)科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2022/12/10 14:29:28
  • 訪問(wèn)次數(shù)396
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深圳市科晶智達(dá)科技有限公司2001年成立于深圳,是一家聚焦服務(wù)于高校、研究院所、企業(yè)研發(fā)部門的國(guó)家技術(shù)企業(yè),長(zhǎng)期致力于打造安全、高效、智能的實(shí)驗(yàn)研發(fā)一站式服務(wù)平臺(tái),為科學(xué)研究與產(chǎn)業(yè)孵化賦能。 深圳科晶與美國(guó)MTI、合肥科晶、沈陽(yáng)科晶同屬M(fèi)TI-科晶聯(lián)盟,目前已經(jīng)搭建輻射的服務(wù)網(wǎng)絡(luò),精心為科學(xué)家們的實(shí)驗(yàn)室提供交鑰匙工程解決方案。 深圳科晶創(chuàng)立初期主要為半導(dǎo)體、精密光學(xué)器件提供潔凈存儲(chǔ)和安全轉(zhuǎn)移所使用的包裝制品,產(chǎn)品包括各種塑料膠盒、膜盒、晶圓盒、海綿盒、花籃等。 公司2008年開始進(jìn)行材料相關(guān)研發(fā)設(shè)備和鋰電池實(shí)驗(yàn)設(shè)備的開發(fā),經(jīng)過(guò)十多年的積累深圳科晶現(xiàn)已成為新能源和新材料基礎(chǔ)研究、小試與中試、測(cè)試與評(píng)估的整體解決方案規(guī)劃者和提供者,產(chǎn)品應(yīng)用涵蓋了石墨烯材料、*陶瓷、*納米材料、鋰離子電池、超級(jí)電容器、燃料電池、固態(tài)電池、鈣鈦礦太陽(yáng)能電池、功能薄膜等方向。 主要產(chǎn)品系列:按應(yīng)用與工藝更新產(chǎn)品系列 ? 材料基礎(chǔ)研究實(shí)驗(yàn)裝備(包括混料、涂覆、鍍膜、壓制、燒結(jié)、切割、研磨、拋光、粉碎、制粉、造粒、熔煉等); ? 電池研發(fā)實(shí)驗(yàn)制備裝備(包括鋰離子電池、固態(tài)電池、超級(jí)電容器、金屬空氣電池、鈉離子電池、液流電池、太陽(yáng)能電池等制備方案); ? 電池安全測(cè)試裝備(符合GB31241 、GB31485、IEC62133、UN38.3等國(guó)內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)等); ? 鋰離子電池中、小試生產(chǎn)制備全流程系統(tǒng)裝備方案,交鑰匙工程(包括扣式、柱狀、軟包、方形鋁殼等各種全電池制備方案); ? 燃料電池研發(fā)實(shí)驗(yàn)制備裝備(包括固體氧化物、質(zhì)子交換膜燃料電池等制備方案); ? 鈣鈦礦太陽(yáng)能電池研發(fā)實(shí)驗(yàn)制備; ? 功能薄膜研發(fā)實(shí)驗(yàn)設(shè)備(包括混料、涂布、輥壓/復(fù)合、分切、復(fù)卷等); ? 高通量材料基因組實(shí)驗(yàn)設(shè)備(包括配液、配粉、混合分散、壓片、燒結(jié)、測(cè)試表征等); 公司設(shè)立了開放的研發(fā)實(shí)驗(yàn)室和設(shè)備體驗(yàn)中心。對(duì)于鋰電池行業(yè),可實(shí)現(xiàn)公斤級(jí)別材料制備及電池研發(fā),能接受上門小批量材料驗(yàn)證、定向工藝研究及小量成品電池制備等研發(fā)工作。 深圳科晶強(qiáng)大的研發(fā)團(tuán)隊(duì)支撐了豐富的產(chǎn)品鏈,針對(duì)現(xiàn)有產(chǎn)品具有*知識(shí)產(chǎn)權(quán)的發(fā)明和實(shí)用新型共40多項(xiàng)(包含PCT和國(guó)內(nèi)發(fā)明),并參與行業(yè)多項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)制定且獲得多個(gè)行業(yè)協(xié)會(huì)認(rèn)可。 本著“精誠(chéng)合作、創(chuàng)新共贏”的宗旨,深圳科晶先后與清華大學(xué)、南開大學(xué)、上海交通大學(xué)、深圳大學(xué)、中航發(fā)航材院、溧陽(yáng)天目湖研究院等十多個(gè)高校機(jī)構(gòu)和企業(yè)簽署產(chǎn)學(xué)研合作。與此同時(shí),深圳科晶設(shè)立了對(duì)外服務(wù)的公共試驗(yàn)平臺(tái),承接科研人員參觀交流與現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試體驗(yàn),配備行業(yè)的售前技術(shù)人員協(xié)助研究者充分了解相關(guān)工藝和設(shè)備,縮短調(diào)研考察與決策時(shí)間。該實(shí)驗(yàn)室平臺(tái)也可以承接相關(guān)工藝試驗(yàn)服務(wù)和培訓(xùn)咨詢服務(wù),協(xié)助細(xì)分領(lǐng)域的科研工作者快速掌握產(chǎn)業(yè)工藝,從而專注前沿研發(fā)。 材料科學(xué)是基礎(chǔ)科學(xué)??v觀人類科技的發(fā)展歷史,新型材料的發(fā)現(xiàn)和應(yīng)用將帶來(lái)巨大的產(chǎn)業(yè)機(jī)遇,而*的實(shí)驗(yàn)裝備和儀器是為科研和應(yīng)用保駕護(hù)航的重要保障。科晶團(tuán)隊(duì)將一如既往秉承“客戶為本,技術(shù)為導(dǎo),誠(chéng)信為基,積極創(chuàng)新”的運(yùn)營(yíng)理念 ,竭力為科學(xué)研究和科技發(fā)展做出貢獻(xiàn)。
OTF-1200X-50-DSL是一款水平滑軌爐,其爐管直徑為Φ50mm,爐體滑動(dòng)速度可以根據(jù)實(shí)驗(yàn)需要而設(shè)置(1mm/sec-100mm/s),并可以設(shè)置左右反復(fù)滑動(dòng),同時(shí)還可以設(shè)置爐體的滑動(dòng)距離
OTF-1200X-50-DSL 定向CVD生長(zhǎng)爐 產(chǎn)品信息

OTF-1200X-50-DSL是一款水平滑軌爐,其爐管直徑為Φ50mm,爐體滑動(dòng)速度可以根據(jù)實(shí)驗(yàn)需要而設(shè)置(1mm/sec-100mm/s),并可以設(shè)置左右反復(fù)滑動(dòng),同時(shí)還可以設(shè)置爐體的滑動(dòng)距離。此款管式爐專門設(shè)計(jì)用CVD方法定向生長(zhǎng)單壁碳納米管(SWCNTs)。通時(shí)此款滑軌爐也可用來(lái)在硅片上生長(zhǎng)熔點(diǎn)較低的金屬單晶。此系統(tǒng)包含了可設(shè)30段程序的高溫爐、一根Φ50*1000mm的石英管和一套不銹鋼真空法蘭。

性能指標(biāo)和基本配置
爐體結(jié)構(gòu)

● 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)
● 一個(gè)滑軌安裝在爐體下端,可通過(guò)一6“的觸摸屏來(lái)控制爐體移動(dòng)方向、滑動(dòng)速度和往返次數(shù)
● 采用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料,并且表面涂有美國(guó)進(jìn)口高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率和延長(zhǎng)使用壽命。

功率

1.5KW

電壓

AC220V,單相

共工作溫度

1200℃(≤1小時(shí))

連續(xù)工作溫度

1100℃

加熱區(qū)域

● 加熱區(qū):200mm(單溫區(qū))
● 通過(guò)管堵位置和爐體移動(dòng)可形成想得到的溫度梯度
1 1

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有高溫氧化鋯涂層,可延長(zhǎng)其使用壽命)

爐管

● 高純石英管
● 尺寸:50 mm OD x 46mm ID x 1000 mm L
● 儀器加熱前,必須放入管堵,以防止熱量輻射影響法蘭的密封性

溫控系統(tǒng)

● 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,可設(shè)置30段升溫、降溫和保溫程序
● 設(shè)置有溫度過(guò)高和斷偶保護(hù)系統(tǒng)
● 控溫精度:±1℃
● 可選測(cè)PC控制軟件,將升溫程序和溫度曲線導(dǎo)入到電腦中
1 1

爐體滑動(dòng)控制系統(tǒng)

● 觸摸屏控制
● 爐體移動(dòng)有手動(dòng)和自動(dòng)控制兩種控制狀態(tài),在手動(dòng)狀態(tài)和自動(dòng)狀態(tài)下均可設(shè)定左右移動(dòng)的速度,但只有在自動(dòng)狀態(tài)下才能設(shè)定左右移動(dòng)的次數(shù)。
● 含蜂鳴報(bào)警器,當(dāng)爐體觸碰到限位開關(guān)就會(huì)產(chǎn)生報(bào)警,并切斷控制電路,使?fàn)t體停止移動(dòng)。
● 可顯示高溫爐內(nèi)的爐溫,與之通訊

密封法蘭

● 儀器中配有一套不銹鋼密封法蘭(上面已安裝不銹鋼針閥和機(jī)械壓力表)
● 法蘭上有一Φ6.35的鎧裝孔,可將熱電偶插入到爐管中,更準(zhǔn)確地測(cè)量樣品的實(shí)際溫度
1

石英氣體噴嘴

可選配石英氣體噴嘴,將反應(yīng)氣體與緩沖清洗氣體分開通入,可有效減少副反應(yīng)發(fā)生,實(shí)現(xiàn)CVD工藝,如局部控制前體濃度化學(xué)氣相沉積工藝(ALC CVD)或單晶二維材料薄膜的生長(zhǎng)工藝等。
1

真空度

● 10E-5 torr (用分子泵)
● 10E-2?torr?(用直聯(lián)式機(jī)械泵)
1 1

滑軌長(zhǎng)度

1200mm

產(chǎn)品尺寸

● 315 x 300 x 380 mm (爐體)
● 1200 x 400 x 530 mm ( 整個(gè)外形)
● 360 x 180 x 300 mm(電器控制柜)

重量

100Kg

質(zhì)量認(rèn)證

CE certified
1

保修期 一年保修,終身技術(shù)支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
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  • OTF-1200X-50-DSL 定向CVD生長(zhǎng)爐(英文版操作視頻)
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