1.
2. 生產(chǎn)能力≤2.5s/1pcs(156mm*156mm),≤2.3/1PCS( 125mm*125mm) ,具有儲(chǔ)片緩存能力
3. 機(jī)械臂強(qiáng)度可靠,能精確平穩(wěn)快速運(yùn)動(dòng)
4. 傳動(dòng)部件速度具有從一個(gè)傳動(dòng)部分到另一個(gè)傳動(dòng)部分的協(xié)調(diào)能力,可調(diào)性強(qiáng)
5. 各獨(dú)立硬件系統(tǒng),軟件上能實(shí)現(xiàn)獨(dú)立控制
6. 輸送皮帶運(yùn)輸硅片