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廣電計(jì)量檢測(cè)集團(tuán)股份有限公司

硅烷純度分析氦離子氣相色譜儀

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)GC-9560-HG
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/1/5 11:41:28
  • 訪問次數(shù)564
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上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司系氣體標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)委員,氣體標(biāo)準(zhǔn)化試驗(yàn)研究與驗(yàn)證-色譜平臺(tái),半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)氣體分技術(shù)委員會(huì)委員,中國(guó)工業(yè)氣體協(xié)會(huì)理事單位,中國(guó)工業(yè)氣體協(xié)會(huì)氣體分析技術(shù)及儀器設(shè)備專業(yè)委員會(huì)副主任委員單位,公司致力于工業(yè)氣體和電力系統(tǒng)兩大領(lǐng)域的專用色譜儀的研發(fā)和生產(chǎn),為國(guó)內(nèi)的專用色譜制造商。華愛色譜自2004年成立以來,先后參與了近百項(xiàng)《國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)》和1項(xiàng)《企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)》的制修訂工作,截止2020年9月已有51項(xiàng)正式頒布實(shí)施;在氣相色譜生產(chǎn)和應(yīng)用領(lǐng)域,華愛色譜擁有數(shù)十項(xiàng)技術(shù),先后承擔(dān)過國(guó)家創(chuàng)新基金、重點(diǎn)新產(chǎn)品計(jì)劃、火炬計(jì)劃、成果轉(zhuǎn)化等多項(xiàng)國(guó)家和上海市的科技項(xiàng)目, 座落于黃浦江畔的生產(chǎn)車間,具備完善的管理制度和*的生產(chǎn)環(huán)境,2008年通過ISO9001國(guó)際質(zhì)量管理體系認(rèn)證;擁有GC-9560系列實(shí)驗(yàn)室氣相色譜儀、HA-9660在線式氣相色譜儀、GC-9760便攜式氣相色譜儀三大系列,二十余種產(chǎn)品,可配備FID、TCD、FPD、PDD、PED、ZrO2等各種檢測(cè)器。 華愛色譜用于高純氣體和電子工業(yè)用氣中痕量雜質(zhì)檢測(cè)的色譜儀設(shè)備,現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于Air Liquide(液化空氣)、Linde(林德集團(tuán))、Air Products(空氣化工)等國(guó)際企業(yè);光明化工研究設(shè)計(jì)院、黎明化工研究設(shè)計(jì)院、中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院、中國(guó)電科院、大連化學(xué)物理研究所、理化技術(shù)研究所等科研機(jī)構(gòu);盈德氣體、蘇州金宏、福建久策、南大光電、佛山華特、中船重工、寶鋼集團(tuán)、首鋼集團(tuán)等國(guó)內(nèi)企業(yè)。
PDHID對(duì)硅烷中氣體雜質(zhì)檢測(cè)限(ppb) H2 O2 Ar N2 CO CH4 CO2 C2 C3 SimHn 50 50 50 50 20 20 20 20 50
硅烷純度分析氦離子氣相色譜儀 產(chǎn)品信息
  • 產(chǎn)品描述

電子工業(yè)氣體:
高純度硅烷氣體雜質(zhì)組份的檢測(cè)
一,GC-9560-HG硅烷純度分析氦離子氣相色譜儀的應(yīng)用領(lǐng)域:
硅烷在大規(guī)模集成電路(LSI)、超大規(guī)模集成電路(VLSI)和半導(dǎo)體器件制造中,用于氣相外延生長(zhǎng)、化學(xué)氣相淀積等工藝(工序)。
1. 外延(生長(zhǎng))混合氣 在半導(dǎo)體工業(yè)中,在仔細(xì)選擇的襯底上選用化學(xué)氣相淀積的方法,生長(zhǎng)一層或多層的材料所用的氣體叫做外延氣體。常用的硅外延氣體有二氯二氫硅、四氯化硅和硅烷等。主要用于外延硅淀積,多晶硅淀積,氧化硅膜淀積,氮化硅膜淀積,太陽(yáng)能電池和其他光感受器的非晶硅膜淀積等。外延生長(zhǎng)是一種單晶材料淀積并生長(zhǎng)在襯底表面上的過程。
2. 化學(xué)氣體淀積(CVD)用混合氣 CVD是利用揮發(fā)性化合物,通過氣相化學(xué)反應(yīng)沉積某種單質(zhì)或化合物的一種方法,即應(yīng)用氣相化學(xué)反應(yīng)的一種成膜的方法。依據(jù)成膜種類,使用的化學(xué)氣相淀積(CVD)氣體也不同。
:硅烷中微量雜質(zhì)的分析一直是色譜分析的難點(diǎn)。
目前多數(shù)采用的熱導(dǎo)檢測(cè)器由于靈敏度有限,很難測(cè)定5ppm以下的雜質(zhì);火焰離子化檢測(cè)器和氧化鋯檢測(cè)器是選擇性的檢測(cè)器,只能分析少數(shù)幾種氣體雜質(zhì),均不能很好的滿足硅烷氣體分析的基本要求。
PDHID檢測(cè)器(脈沖放電氦離子檢測(cè)器)是一種靈敏度的通用型檢測(cè)器,對(duì)幾乎所有無機(jī)和有機(jī)化合物均有很高的響應(yīng),特別適合*氣體的分析,是*能夠檢測(cè)至ng/g(ppb)級(jí)的檢測(cè)器。

關(guān)鍵詞:氣相色譜儀 電池
15168338725
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