儀器特點
四軸CNC控制,自動尋邊、自動測量、自動對焦采用移動橋式精密花崗巖架構(gòu),滿足高精度,高穩(wěn)定性高精度0.5um分辨率進口開放光柵系統(tǒng)全閉環(huán)伺服運動控制系統(tǒng),速度快、精度高搖桿/鼠標操作,可單獨或協(xié)同控制表面光源為程控5環(huán)8區(qū)LED冷光源,平行輪廓光源,亮度均連續(xù)可調(diào)根據(jù)客戶工件的具體情況,提供不同的照明組合可聚焦測高,可加裝接觸式測頭和激光測頭模組可以按照客戶需求提供定制化設(shè)計
技術(shù)參數(shù)
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