FGL（RTP）滑軌式管式爐(T max 1100℃)
滑軌式管式爐一體化結(jié)構(gòu)設計,用于1100℃以下快速升溫快速降溫的特殊工藝要求，通過移動爐體實現(xiàn)快速冷卻的目的。同時也可以預先設定溫度，然后移動到樣品處，達到快速升溫的效果。適合使用廣泛的RTP工藝及CVD石墨烯工藝。
特點
1、 工作溫度RT～1000℃。
2、 智能程序控溫儀控制精準,可編輯、儲存并調(diào)用多段程序。
3、 采用陶瓷纖維FEC加熱模塊，電阻絲內(nèi)嵌式環(huán)繞加熱。
4、 爐殼結(jié)構(gòu)，雙層爐殼風冷結(jié)構(gòu)。
5、 不銹鋼雙層密封法蘭，進、出氣美標針閥。
6、 兩端可調(diào)節(jié)式法蘭支撐結(jié)構(gòu)，延長石英管的使用壽命。
7、 超溫保護功能，當溫度超過允許設定值自動斷電。
8、 安全保護當爐體漏電時自動斷電。
額外選配 爐內(nèi)測量系統(tǒng)（氧含量檢測系統(tǒng)、溫度檢測系統(tǒng)）；
真空系統(tǒng)（旋片式機械泵、擴散泵機組、分子泵機組）；
氣氛系統(tǒng)（浮子流量計、質(zhì)量流量計）；
監(jiān)控系統(tǒng)：（溫度記錄儀、觸摸屏遠程監(jiān)控）；
注：選件需配置拓展柜體；
技術(shù)參數(shù)
| 設備常規(guī)型號 | 高溫度 | 管徑 | 加熱區(qū) | 溫區(qū)數(shù) | 熱電偶 | 電壓 | 功率 |
| FGL(RTP)-40/11/1 | 1100℃ | 40mm | 320 mm | 1個 | K型 | 220V |
3、0KW |
| FGL(RTP)-50/11/1 | 1100℃ | 50mm | 320 mm | 1個 | K型 | 220V | |
| FGL(RTP)-60/11/1 | 1100℃ | 60mm | 320 mm | 1個 | K型 | 220V | |
| FGL(RTP)-80/11/1 | 1100℃ | 80mm | 320 mm | 1個 | K型 | 220V |
注：給出的 高溫度為工作管外測定，其它溫區(qū)個數(shù)和加熱區(qū)長度可根據(jù)客戶工藝要求定制。
哪個廠家的質(zhì)量好?生產(chǎn)廠家西格馬質(zhì)量好，售后完善。
