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廣電計(jì)量檢測集團(tuán)股份有限公司

PDC-36G 等離子清洗機(jī)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱深圳市科晶智達(dá)科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/2/11 7:35:31
  • 訪問次數(shù)460
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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深圳市科晶智達(dá)科技有限公司2001年成立于深圳,是一家聚焦服務(wù)于高校、研究院所、企業(yè)研發(fā)部門的國家技術(shù)企業(yè),長期致力于打造安全、高效、智能的實(shí)驗(yàn)研發(fā)一站式服務(wù)平臺,為科學(xué)研究與產(chǎn)業(yè)孵化賦能。 深圳科晶與美國MTI、合肥科晶、沈陽科晶同屬M(fèi)TI-科晶聯(lián)盟,目前已經(jīng)搭建輻射的服務(wù)網(wǎng)絡(luò),精心為科學(xué)家們的實(shí)驗(yàn)室提供交鑰匙工程解決方案。 深圳科晶創(chuàng)立初期主要為半導(dǎo)體、精密光學(xué)器件提供潔凈存儲和安全轉(zhuǎn)移所使用的包裝制品,產(chǎn)品包括各種塑料膠盒、膜盒、晶圓盒、海綿盒、花籃等。 公司2008年開始進(jìn)行材料相關(guān)研發(fā)設(shè)備和鋰電池實(shí)驗(yàn)設(shè)備的開發(fā),經(jīng)過十多年的積累深圳科晶現(xiàn)已成為新能源和新材料基礎(chǔ)研究、小試與中試、測試與評估的整體解決方案規(guī)劃者和提供者,產(chǎn)品應(yīng)用涵蓋了石墨烯材料、*陶瓷、*納米材料、鋰離子電池、超級電容器、燃料電池、固態(tài)電池、鈣鈦礦太陽能電池、功能薄膜等方向。 主要產(chǎn)品系列:按應(yīng)用與工藝更新產(chǎn)品系列 ? 材料基礎(chǔ)研究實(shí)驗(yàn)裝備(包括混料、涂覆、鍍膜、壓制、燒結(jié)、切割、研磨、拋光、粉碎、制粉、造粒、熔煉等); ? 電池研發(fā)實(shí)驗(yàn)制備裝備(包括鋰離子電池、固態(tài)電池、超級電容器、金屬空氣電池、鈉離子電池、液流電池、太陽能電池等制備方案); ? 電池安全測試裝備(符合GB31241 、GB31485、IEC62133、UN38.3等國內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)等); ? 鋰離子電池中、小試生產(chǎn)制備全流程系統(tǒng)裝備方案,交鑰匙工程(包括扣式、柱狀、軟包、方形鋁殼等各種全電池制備方案); ? 燃料電池研發(fā)實(shí)驗(yàn)制備裝備(包括固體氧化物、質(zhì)子交換膜燃料電池等制備方案); ? 鈣鈦礦太陽能電池研發(fā)實(shí)驗(yàn)制備; ? 功能薄膜研發(fā)實(shí)驗(yàn)設(shè)備(包括混料、涂布、輥壓/復(fù)合、分切、復(fù)卷等); ? 高通量材料基因組實(shí)驗(yàn)設(shè)備(包括配液、配粉、混合分散、壓片、燒結(jié)、測試表征等); 公司設(shè)立了開放的研發(fā)實(shí)驗(yàn)室和設(shè)備體驗(yàn)中心。對于鋰電池行業(yè),可實(shí)現(xiàn)公斤級別材料制備及電池研發(fā),能接受上門小批量材料驗(yàn)證、定向工藝研究及小量成品電池制備等研發(fā)工作。 深圳科晶強(qiáng)大的研發(fā)團(tuán)隊(duì)支撐了豐富的產(chǎn)品鏈,針對現(xiàn)有產(chǎn)品具有*知識產(chǎn)權(quán)的發(fā)明和實(shí)用新型共40多項(xiàng)(包含PCT和國內(nèi)發(fā)明),并參與行業(yè)多項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)制定且獲得多個(gè)行業(yè)協(xié)會認(rèn)可。 本著“精誠合作、創(chuàng)新共贏”的宗旨,深圳科晶先后與清華大學(xué)、南開大學(xué)、上海交通大學(xué)、深圳大學(xué)、中航發(fā)航材院、溧陽天目湖研究院等十多個(gè)高校機(jī)構(gòu)和企業(yè)簽署產(chǎn)學(xué)研合作。與此同時(shí),深圳科晶設(shè)立了對外服務(wù)的公共試驗(yàn)平臺,承接科研人員參觀交流與現(xiàn)場測試體驗(yàn),配備行業(yè)的售前技術(shù)人員協(xié)助研究者充分了解相關(guān)工藝和設(shè)備,縮短調(diào)研考察與決策時(shí)間。該實(shí)驗(yàn)室平臺也可以承接相關(guān)工藝試驗(yàn)服務(wù)和培訓(xùn)咨詢服務(wù),協(xié)助細(xì)分領(lǐng)域的科研工作者快速掌握產(chǎn)業(yè)工藝,從而專注前沿研發(fā)。 材料科學(xué)是基礎(chǔ)科學(xué)??v觀人類科技的發(fā)展歷史,新型材料的發(fā)現(xiàn)和應(yīng)用將帶來巨大的產(chǎn)業(yè)機(jī)遇,而*的實(shí)驗(yàn)裝備和儀器是為科研和應(yīng)用保駕護(hù)航的重要保障??凭F(tuán)隊(duì)將一如既往秉承“客戶為本,技術(shù)為導(dǎo),誠信為基,積極創(chuàng)新”的運(yùn)營理念 ,竭力為科學(xué)研究和科技發(fā)展做出貢獻(xiàn)。
簡要描述:PDC-36G 等離子清洗機(jī)是一種緊湊型、低成本的等離子清洗機(jī)。使用空氣、氧氣、氬氣等離子去除納米級有機(jī)物污染。在射頻電源的作用下,去除速率大每分鐘10納米。在單晶材料外延薄膜生長以前進(jìn)行預(yù)處理,對生長具有顯著的作用 。
PDC-36G 等離子清洗機(jī) 產(chǎn)品信息
功能特點(diǎn)
  • 結(jié)構(gòu)緊湊、小型化的桌上型儀器;
  • 用各種氣體清洗和去除晶片上納米級有機(jī)污染物;
  • 在制膜實(shí)驗(yàn)之前預(yù)先清潔鍍膜基底的優(yōu)秀工具。清洗后鍍膜的質(zhì)量可以更好;
  • 鉸鏈?zhǔn)介T,方便裝樣;
  • 石英腔的直徑是3英寸,在里面可以放入一個(gè)石英舟,大清洗一個(gè)2英寸的基片;
  • 清洗腔里面的石英管可以拆卸,方便清洗和更換;
  • 使用可調(diào)射頻電源,可以設(shè)置功率為低、中、高級別;低成本、操作安全;
技術(shù)參數(shù)
主要參數(shù)

● 低功率設(shè)定:直流680V,10mA,6.8W

● 中功率設(shè)定:直流700V,15mA,10.5W

● 高功率設(shè)定:直流720V,25mA,18W

● 射頻源輸出頻率:13.56MHz

● 等離子直流電源

● 輸入電壓:220V,50Hz

等離子腔室

● 直徑75mmx長200mm的石英墻體,前蓋可以開啟

● 高純度石英腔體,使用壽命比玻璃長

真空計(jì)

● 設(shè)備標(biāo)配一個(gè)數(shù)顯電阻真空機(jī)用于實(shí)時(shí)監(jiān)測清洗倉內(nèi)的真空度。

可選配件

● 您可以訂購額外的石英腔體,用于備用

● 如果需要一個(gè)通入兩種氣體的工藝解決方案,PDC-36G等離子清洗機(jī)可以與2路混氣系統(tǒng)組合(點(diǎn)擊下面圖片了解詳情)

● 您可以訂購石英晶片載體來清潔2英寸晶片

真空泵和閥

● 此設(shè)備不包含真空泵

● 您可以點(diǎn)擊下方圖片了解真空泵信息

工作氣體

● 多種氣體可以用于等離子清洗,例如氮?dú)狻鍤?、空氣、混合氣體,主要取決于處理何種材料。

● 可以使用<4%的H2混合惰性氣體

● 警示:不能使用可燃性及腐蝕性氣體

等離子清洗及刻蝕的方法

外形尺寸

353mm(L)x380mm(W)x225mm (H)

凈重

8kg(不含泵)

認(rèn)證

CE認(rèn)證

質(zhì)保期

● 一年保修,終身技術(shù)支持。

● 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

● 點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。

工作原理

等離子清洗機(jī)工作原理



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