TOC超純水設(shè)備
微電子行業(yè)制備超純水流程中，因紫外線(xiàn)技術(shù)在超純水高品質(zhì)要求中不引入新的物質(zhì)，而得到廣泛應(yīng)用。
有機(jī)物是超純水系統(tǒng)中最難控制的污染，隨著集成電路臨界尺寸不斷縮小挑戰(zhàn)，對(duì)超純水中TOC值的要求越來(lái)越高，因此，如何配置紫外線(xiàn)，如何確認(rèn)配置中紫外線(xiàn)設(shè)備的有效紫外劑量，進(jìn)而使TOC去除合格且水中溶解氧不升高，安力斯將為您解決這些運(yùn)營(yíng)困擾。
185nmUV主要用于去除超純水制備過(guò)程中的TOC，使出水滿(mǎn)足美國(guó)ASTM超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)及電子工業(yè)部電子級(jí)水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。
產(chǎn)品介紹：
EX-UPW-TOC產(chǎn)品系列是一款適用于超純水 (UPW) 制備中對(duì)總有機(jī)碳 (TOC) 進(jìn)行降解的可靠系統(tǒng)。通過(guò)更高185nm穿透率、實(shí)時(shí)在線(xiàn)的紫外線(xiàn)強(qiáng)度監(jiān)測(cè)、本地/遠(yuǎn)程的智能控制，實(shí)現(xiàn)高效、安全可控的總有機(jī)碳 (TOC) 降解。該設(shè)備在超純水制備工藝中，可使超純水TOC降至1ppb以下。
產(chǎn)品主要組成：高強(qiáng)度185nm的紫外燈管，高輸出石英套管，內(nèi)外電解拋光的一體化紫外反應(yīng)器，高度精確的UV強(qiáng)度傳感器及智能自控系統(tǒng)組成。
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TOC超純水設(shè)備
產(chǎn)品規(guī)格：
| 處理水量 | 2~60m3/h |
| 燈管配置 | 12~48支 |
| 燈管類(lèi)型 | 85w/155w(185/254nm雙波段) |
| 石英套管 | T＞80%@185nm |
| 鎮(zhèn)流器 | 50~100%輸出功率可調(diào) |
| 反應(yīng)器材質(zhì) | 316L |
| 潔凈等級(jí) | 內(nèi)外電解拋光、表面光潔度10以上（≤Ra0.2） |
| 法蘭尺寸 | DN50~DN200 |
| 額定壓力 | PN10 |
| 控制柜等級(jí) | IP55，碳鋼噴塑 |
| 控制系統(tǒng) | 本地/遠(yuǎn)程、觸摸屏、連接SCADA系統(tǒng) |
| UV強(qiáng)度傳感器 | 分辨率0.01mw/cm2 |
