GSL-1100X-SPC-16M 是一款緊湊型的磁控等離子濺射儀,采用雙旋片機械泵進行抽真空。 一個磁控管與Peltier 冷卻裝置安裝在機器的頂部,,這將提供強有力的濺射能源,產(chǎn)生更好和更快的涂層,特別適用于金屬靶材,比如鋁,鋅和鎂. 儀器中包含一個金靶和真空系統(tǒng)。
技術(shù)參數(shù)
工作電壓 | 110V or 220V 50/60 Hz |
輸出功率 | < 2000W (包含真空泵) |
輸出電壓 |
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樣品室 | 石英罩: 160 mm Dia. x 120mm Height
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樣品載物臺 |
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可通入氣體 | 通過針閥通入氬氣,能實現(xiàn)更好的等離子涂層 |
靶材
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外形尺寸 | L360mm x W300mm x H380mm |
重量 | 50 kg |
質(zhì)保期和質(zhì)量認證 | 一年質(zhì)保期,終身維護 CE Certified |