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廣電計量檢測集團股份有限公司

微型PECVD系統(tǒng)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱長沙沛鈺進(jìn)出品貿(mào)易有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2023/2/28 9:22:47
  • 訪問次數(shù)258
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長沙沛鈺進(jìn)出口貿(mào)易有限公司和湖南湘魯科學(xué)儀器有限公司(兄弟公司)是一家代理國內(nèi)外儀器的經(jīng)銷及技術(shù)服務(wù)的專業(yè)公司。沛鈺二維碼公司所涉及的產(chǎn)品遍布大專院校、科研單位、工廠企業(yè)、商檢、、農(nóng)業(yè)、食品、超市、治金礦山、建筑、石油、路橋等行業(yè)。主要產(chǎn)品:生命科學(xué)儀器,化學(xué)分析儀器,光學(xué)儀器,物性測試儀器及設(shè)備,環(huán)保設(shè)備/流量儀表,行業(yè)專用儀器,藥物檢測儀器,種子儀器,農(nóng)業(yè)和食品儀器,石油儀器,煤炭儀器,測繪儀表,建筑儀器,公路儀器,地質(zhì)儀器,電工儀器儀表,自動化儀表,氣象儀器,環(huán)保儀器,電教器材,無線電儀器,小型機械等。并且提供與生物技術(shù)相關(guān)的實驗室科研儀器設(shè)備、實驗室耗材與試劑、實驗室設(shè)計、規(guī)劃、改建等服務(wù)。公司以“高品質(zhì),高服務(wù),高信譽”贏得各地市場,各個領(lǐng)域的好評和歡迎。未來,公司將引進(jìn)和代理更多國際國內(nèi)品牌產(chǎn)品,并將研發(fā)自有品牌的產(chǎn)品以滿足市場不同的需求,以更高質(zhì)量的產(chǎn)品,更高質(zhì)量的服務(wù),更高效率的運營,樸素而*的管理理念,為客戶提供更優(yōu)良的產(chǎn)品和服務(wù)!公司宗旨:客戶至上 誠信為本 開拓創(chuàng)新 成就 懂道直行 合作共贏公司愿景:成為的儀器供應(yīng)商 開創(chuàng)一個的儀器時代py-07我公司主要代理產(chǎn)品有:合肥科晶材料技術(shù)有限公司 -------------------------- 箱式爐、管式爐、CVD系統(tǒng)及電池成套設(shè)備。北京泊菲萊科技有限公司 ------------------------- 光催化設(shè)備、氙燈光源。上海和泰儀器有限公司 -------------------- 超純水機。芬蘭艾斯瑪特生物技術(shù)有限公司 ------------------- 移液器武漢藍(lán)電電子有限公司 ------------------------ 電池測試系統(tǒng)、超級電容器測試系統(tǒng)。上海佑科 --------------------------------- 電子天平。梅特勒、賽多利斯、奧豪斯 -------------------------- 電子天平。美國PINE公司 ----------------------------------- 旋轉(zhuǎn)圓盤電極裝置、雙恒電位儀。上海佑科、上海光譜儀器有限公司 ---------------------- 紫外、 分光光度計、原子吸收。上海辰華儀器有限公司 ---------------------------- 電化學(xué)工作站。上海一恒、精宏、博訊 --------------------------- 干燥箱、培養(yǎng)箱、高低溫試驗箱等。中科美菱、中科都菱低溫科技有限責(zé)任公司 ------ 超低溫冰箱、冷藏箱等湖南湘儀、湖南邁克爾、長沙英泰 --------------- 離心機。上海亞榮、長城、予華、愛博特 ------------------- 旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器。昆山美美超聲儀器有限公司 ---------------------------- 等。上海智誠 ---------------------- 智能恒溫?fù)u床.大龍興創(chuàng)實驗儀器(北京)有限公司 -------------- 移液器、磁力攪拌器、電動攪拌器。IKA、上海司樂儀器有限公司 ---------------------- 磁力攪拌器。寧波新芝、北京博醫(yī)康 ---------------------- 冷凍干燥機。臨海市譚氏、北京中興偉業(yè) ---------------------- 真空泵。
產(chǎn)品詳情產(chǎn)品概述:這款小型PECVD,其腔體為3"diax16"L的石英腔體,而且加熱圈在石英腔體內(nèi)部對樣品進(jìn)行加熱,此系統(tǒng)配有2通道混氣系統(tǒng)和雙旋機械泵
微型PECVD系統(tǒng) 產(chǎn)品信息
產(chǎn)品詳情

產(chǎn)品概述:這款小型PECVD,其腔體為 3" dia x 16" L的石英腔體,而且加熱圈在石英腔體內(nèi)部對樣品進(jìn)行加熱,此系統(tǒng)配有2通道混氣系統(tǒng)和雙旋機械泵。整套儀器都按放在一個移動架上,以便于實驗操作。等離子腔體內(nèi)部的溫度可以達(dá)到400℃,采用程序化控溫。此款小型廉價的PECVD系統(tǒng)對于薄膜生長和納米線的制作是一款很好的選擇。

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技術(shù)參數(shù)實驗案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
等離子源

· 等離子體射頻電源:110220VAC, 50/60 Hz, < 100W

· 輸出頻率: 13.56 MHz

· 三檔射頻功率大小: 7.2W. 10.5W  18W (可調(diào)節(jié))

· 腔體尺寸:3"OD x 2.7"ID x 16" L

儀器中帶有一套不銹鋼密封法蘭使得腔體內(nèi)部的真空度為10^-2 torr(用機械泵)


視頻

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      操作視頻

滑動法蘭

· 有一滑軌法蘭安裝于移動架上,以便于樣品的放入和取出。

樣品可以放入加熱線圈內(nèi),以達(dá)到更好的加熱效率和溫度的均勻性。


加熱圈和溫控系統(tǒng)

· 加熱圈尺寸:50mm OD x 40mm ID x 70mm,可使樣品達(dá)到的溫度為400℃

· 加熱圈上套有一2" ID x 75mm L的石英罩,以減小熱量損失

· 溫控方面:采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,同時可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度為: +/-1oC

輸入電源: AC 220V

blob.png

兩通道混氣系統(tǒng)

· 混氣箱上安裝有兩個浮子流量計,其量程為10-100SCCM

· 三個機械壓力表:-0.1-0.15 MPa,

· 混氣箱上安裝有304不銹鋼針閥

· 配有三根1/4"的聚四氟乙烯管

· 混氣箱尺寸:  340Lx300Dx 180H, mm    ( 13.4"x12"x7").

凈重: 14 lbs.


真空和氣體接口

標(biāo)準(zhǔn)的真空配置有

· 一套3"的不銹鋼法蘭(上面安裝有KF-25的真空泵接口,一個1/4"卡套接頭和不銹鋼針閥)

· 一根KF25的波紋管(長度為1m)和三KF25卡箍

· 一個數(shù)字式真空顯示計

· 等離子腔體中可以通入多種惰性性氣體,如N2, Ar, Air ,以及各種混合性氣體。

· 可以調(diào)整腔體內(nèi)的壓力或是進(jìn)氣流量,確保等離子體達(dá)到樣品處

(注意:不可通入易燃易爆性氣體)


真空泵

· 儀器中配有一雙旋機械真空泵,其抽氣速率為120L/min,

進(jìn)氣口為KF25接口,可以使腔體內(nèi)真空度小于30mTorr


移動架

設(shè)備中配有一 600L x 600W x 600Hmm)的移動架,整個CVD系統(tǒng)可以安置于其上面


儀器尺寸

· 等離子源: 8.5" H x 10" W x 8" D

· 溫控盒: 4"H x 10"W x 8"D

移動架:600 x 600 x 600mm


重量

70 lb (包含真空泵)


質(zhì)保期

一年質(zhì)保期(不包含石英管和密封圈)


質(zhì)量認(rèn)證

 CE 認(rèn)證

15700106413
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