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產(chǎn)品|公司|采購|招標

廣電計量檢測集團股份有限公司

LH1000雙頻激光干涉儀

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱北京鐳測科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2023/3/3 13:24:40
  • 訪問次數(shù)519
產(chǎn)品標簽:

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北京鐳測科技有限公司(簡稱“鐳測科技”),初建時的技術(shù)來自清華大學(xué),現(xiàn)在擁有多項獨立的知識產(chǎn)權(quán),主要產(chǎn)品是高精度激光測量儀器、設(shè)備,并為客戶提供技術(shù)方案。 鐳測科技生產(chǎn)的高精度測量儀器有:雙折射雙頻激光干涉儀,非接觸激光回饋干涉儀,光學(xué)元件-建材玻璃內(nèi)應(yīng)力(及相位延遲)測量儀,激光納米測尺等產(chǎn)品,滿足機械制造、微電子、光學(xué)加工等行業(yè)的高精度測量要求。產(chǎn)品質(zhì)量,交貨,售后服務(wù)受到廣泛好評。 鐳測科技是優(yōu)質(zhì)的激光精密測量系統(tǒng)和方案供應(yīng)商,致力于提供的精密檢測設(shè)備和測量方案,幫助用戶提高制造能力和前沿科研水平。 鐳測科技是少有的能批量生產(chǎn)雙頻激光器的公司之一,同時也是一家能生產(chǎn)大頻差、高功率、直接輸出正交線偏振光雙頻激光器的公司。 鐳測科技生產(chǎn)的雙頻激光器直接輸出線偏振光,沒有圓偏振光轉(zhuǎn)換為線偏振光環(huán)節(jié)的非線性誤差,精度更高,產(chǎn)品獲2007年國家技術(shù)發(fā)明二等獎(證書號2007-F-219-2-01-R01)。 鐳測科技是少有的集激光基礎(chǔ)技術(shù)研究、激光基礎(chǔ)器件研發(fā)和激光應(yīng)用系統(tǒng)開發(fā)的高科技企業(yè),數(shù)十年的不懈努力,取得豐碩成果,已取得系列權(quán),獲國家技術(shù)發(fā)明獎二等獎兩項。 鐳測科技開發(fā)生產(chǎn)的可溯源到自然基準的波片相位延遲測量儀是檢測機構(gòu)、實驗室標定檢測設(shè)備,其檢測校準方法作為國家標準被頒布執(zhí)行。 企業(yè)宗旨 鐳測科技設(shè)計、制造和供應(yīng)可靠、可溯源和質(zhì)量的計量檢測系統(tǒng),以使用戶能實現(xiàn)計量標準的精準幾何尺寸測量。 我們的目標是不斷創(chuàng)新,提供前沿技術(shù)和產(chǎn)品,以滿足客戶的要求。協(xié)助您改善機器性能,滿足加工設(shè)計要求和指標。幫助您改善生產(chǎn)過程控制、減少瑕疵和返工、降低浪費和生產(chǎn)運行成本。 我們提供的產(chǎn)品會提高您的產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率,增強您的競爭力,使您在越來越激烈的競爭中獲得更多的客戶和定單。 鐳測科技希望成為的者和社會的貢獻者,以有責任感、專業(yè)、關(guān)愛、開放和誠實的方式實現(xiàn)我們的目標。 鐳測將通過優(yōu)質(zhì)的服務(wù)讓全體用戶滿意。
光刻機專用雙頻激光干涉儀可構(gòu)建XY位移臺等多軸測量系統(tǒng)采用直接輸出線偏振光、大功率、大頻差雙頻激光器無圓偏振光轉(zhuǎn)線偏振光非線性誤差大功率可同時測量更多數(shù)量的軸向位移大頻差,測量速度更快
LH1000雙頻激光干涉儀 產(chǎn)品信息

專為光刻機配套開發(fā)的高精度測量系統(tǒng);

通過國家重大專項“極大規(guī)模集成電路制造技術(shù)及成套工藝”項目驗收。

采用直接輸出線偏振光的雙頻激光器;

非線性高精密測量系統(tǒng),測量更精準;

可提供1~20MHz頻差內(nèi)任意頻差產(chǎn)品,滿足各種測量速度需要。

光源和測量信號接收單元分體式設(shè)計,方便搭建XY位移臺等多軸測量系統(tǒng);

精巧的測量信號光纖接收頭,即使空間狹小也能方便安裝;

標準光刻機干涉儀安裝尺寸和數(shù)據(jù)接口,可直接替換現(xiàn)有產(chǎn)品。



型號

頻差(MHz)

最小出光功率(μW)

光斑尺寸(mm)

穩(wěn)頻精度(ppm)

LH1000A

1.0±0.5

>500

6

±0.02

LH1000B

2.0±0.5

> 500

6

±0.02

LH1000C

3.0±0.5

> 500

3, 6, 9

±0.02

LH1000D

4.0±0.5

>500

6, 9

±0.02

LH1000DL

5.0±0.5

> 500

6, 9

±0.02

LH1000EL

6.0±0.5

>500

6

±0.02

LH1000FL

7.0±0.5

>500

6, 9

±0.02

LH1000GL

8.0±0.5

> 500

9

±0.02

LH1000H

9.0±0.5

> 500

3, 6, 9

±0.02

LH1000I

10.0-20.0(按需定制)

> 500

3, 6, 9

±0.02

注:可根據(jù)需求定制更小頻差范圍。

微信截圖_20210616121113.png


懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

LH1000雙頻激光干涉儀應(yīng)用于尼康光刻機后,其工作臺精度由原來的23nm提高到6nm!

圖片1.jpg


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