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廣電計(jì)量檢測(cè)集團(tuán)股份有限公司

Hitachi CDSEM S9380 Retrofit

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  • 公司名稱天津東方科捷科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/3/5 10:36:20
  • 訪問(wèn)次數(shù)683
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東方科捷科技有限公司 Orient KOJI (Hongkong) Ltd.主營(yíng)業(yè)務(wù)包括:代理銷售、研發(fā)生產(chǎn)用于科學(xué)研究及測(cè)試用高技術(shù)設(shè)備、附件、耗材及服務(wù);公司基于專業(yè)的技術(shù)及研發(fā)團(tuán)隊(duì),為國(guó)內(nèi)科研團(tuán)隊(duì)和測(cè)試領(lǐng)域提供化的設(shè)備配置和測(cè)試方案;代理銷售品牌:HORIBA Scientific(堀場(chǎng)),ISS(ISS公司),Oxford(牛津),Otsuka(大塚),HITACHI high-technology (日立高新),Hamamatsu Photonics (濱松光子學(xué)),UltraFast System,SPECTRA-PHYSICS(光譜物理),Semrock;主要代理產(chǎn)品:l HORIBA Scientific 光譜儀、穩(wěn)態(tài)瞬態(tài)熒光光譜儀、激光共焦拉曼成像光譜儀(Raman)、納米拉曼成像光譜儀(nanoRaman)、陰極射線發(fā)光光譜儀CL;x射線熒光光譜儀(油中硫分析儀),碳/硫氧/氮/氫元素分析儀;x射線熒光顯微鏡;輝光放電--元素深度分布分析儀(GD-OES),橢圓偏振光譜儀;l ISS公司的激光共焦多維熒光成像系統(tǒng)FLIM/PLIM/FCS,激光共焦超分辨成像顯微鏡STED-ALBA;特色:時(shí)間分辨的空間分布成像;時(shí)間分辨的空間超分辨成像;壽命范圍100ps-100ms;波長(zhǎng)范圍可選350nm-1600nm;二維振鏡掃描標(biāo)準(zhǔn)配置,自動(dòng)可調(diào)針孔共焦;l Oxford公司的低溫恒溫器及磁場(chǎng)系統(tǒng);l HITACHI公司的二手CDSEM(工業(yè))和FESEM;l 飛秒瞬態(tài)吸收光譜儀fs-TAS; 飛秒時(shí)間分辨拉曼光譜儀;l 專業(yè)光致發(fā)光量子效率測(cè)試系統(tǒng)—覆蓋紫外可見近紅外波長(zhǎng)范圍(350-1600nm),包括上轉(zhuǎn)換發(fā)光,單態(tài)氧發(fā)光量子效率測(cè)試;提供溫度變化環(huán)境;Orient KOJI自有產(chǎn)品l QY-2000 積分球熒光光譜儀用于重現(xiàn)性的光致發(fā)光量子效率測(cè)量;l EzTime-PL 時(shí)間分辨調(diào)制模塊,用于上轉(zhuǎn)換壽命和EL時(shí)間分辨發(fā)光光譜測(cè)量;l TAP-02 高溫?zé)晒飧郊?;用于熱穩(wěn)定性及熱猝滅熒光測(cè)試;l Cryo-77液氮低溫恒溫器 (77-500K);l 定制量子效率測(cè)試系統(tǒng);l 定制相關(guān)激光共焦掃描、量子效率、光譜(成像)測(cè)量、時(shí)間分辨(成像)、磁場(chǎng)、低溫等集成技術(shù)的測(cè)試系統(tǒng);
Hitachi CDSEM S9380 Retrofit
Hitachi CDSEM S9380 Retrofit 產(chǎn)品信息

Retrofit CDSEM S-9380 執(zhí)行原廠新機(jī)器同樣驗(yàn)收技術(shù)指標(biāo):

提供樣品測(cè)試驗(yàn)證;

General

Wafer size : 8-inch (200-mm size)

V-notch wafer of SEMI or JEIDA standards is applicable.

CD measurement principle : Cursor and line profile measurement

CD measurement range : 0.05 to 2.0 mm (either line width or hole diameter)

CD measurement reproducibility : ±1% or 0.6 nm (3 sigma), whichever larger

Throughput : due to the data after modification from Hitachi High-Technologies Corporation

Secondary electron image resolution

: 2 nm (at accelerating voltage of 0.8 kV; with

Hitachi’s reference specimen for resolution measurement)

Magnification : SEM image - 1,000to 300,000

Optical microscope image - approximately 110x (220x is optional)

升級(jí):實(shí)驗(yàn)室數(shù)據(jù)上傳接口;

產(chǎn)品對(duì)比
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