| | HFM200系列質(zhì)量流量控制器-高壓大流量 | |||
| 量程(N2) | 1500SLPM | 3000SLPM | 6000SLPM | 15000SLPM |
| 原理 | 熱式 | |||
| 精度 | ±3.0%FS | ±5.0%FS | ||
| 重復(fù)性 | ±0.25%FS | |||
| 溫度系數(shù) | ±0.1%FS/℃(15-35℃) | ±0.2%FS/℃(15-35℃) | ||
| 耐壓 | 1.0Mpa、高壓選項3.4Mpa | |||
| 泄漏率 | 1*10-8pa·m3/s以下 | |||
| 工作溫度 | 5~45℃(精度保證范圍15~35℃) | |||
| 濕度范圍 | 10-90%RH(不能結(jié)露) | |||
| 材質(zhì) | 本體SUS316 | |||
| 密封圈VITON、NBR、PTFE | ||||
| 電氣接口 | DB15 | |||
| 輸出信號 | 0-5V | |||
| 供電電壓 | ±15VDC50mA | |||
| 管路連接 | 3寸NPT | 4寸法蘭 4寸焊接 | 6寸法蘭 6寸焊接 | 8寸法蘭 8寸焊接 |
DB15針腳定義：
| 針腳/顏色 | 定義 |
| 1-4針腳 | 空 |
| 5針腳 | 信號COM |
| 6針腳 | 0-5V輸出 |
| 7針腳 | 電源GND |
| 8針腳 | 空 |
| 9針腳 | 電源 -15VDC |
| 10針腳 | 空 |
| 12針腳 | 電源 +15VDC |
| 13-15針腳 | 空 |
一：進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進水)》。
二：用肥皂水對管路進行泄漏檢測時，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。
三：安裝前，請將設(shè)備管路進行整體吹掃。
四：需要進行零點漂移清零的時候，確認(rèn)進/出口沒流量沒壓力下 再操作。
