儀器特點：
1、X、Y、Z三軸全自動測量儀
2、高清130萬數(shù)字相機。
3、Z軸軟件自動精準(zhǔn)聚焦。該測量軟件高度集成， 能提高檢測效率及精度。
4、主要應(yīng)用檢測半導(dǎo)體芯片的共面度、平面度、平整度。
5、儀器又稱激光平面度測量儀
主要參數(shù)：
| 型號 | AG300CNC | |
| 行程(mm) | 300×200×200 | |
| 外形尺寸(mm) | 1450X1050X1650 | |
| 重量(kg) | 450 | |
| 承重(kg) | 20 | |
| X 、Y軸測量精度(μm) | 1.5+L/250 | |
| Z軸測量精度(μm) | 2+L/200 | |
| 重復(fù)精度（μm） | 2 | |
| X、Y軸運動速度 | 0-100mm/S（任意選擇） | |
| Z軸運動速度 | 0-20m/S(任意選擇) | |
| 操作方式 | 搖桿+軟件 | |
| 光柵尺 | 0.0001mm分辨率RENISHAW金屬光柵尺 | |
| 導(dǎo)軌 | 中國臺灣“上銀” 精密級直線導(dǎo)軌 | |
| 絲桿 | 中國臺灣“TBI”細(xì)牙研磨滾珠絲桿 | |
| 軸承 | 日本原裝“NSK” 雙例組合向心球軸承 | |
| 電機 | 日本“松下”交流伺服電機，定位精度≤0.001mm | |
| 光電限位開關(guān) | 日本原裝“歐姆龍”光電限位開關(guān) | |
| 圖像傳感器CCD | 高清數(shù)字130萬像素彩色CCD | |
| 光源 | 輪廓光 | 輪廓光 LED冷光源，透射光加裝聚光鏡片實現(xiàn)平行光照射 |
| 表面光 | 4環(huán)8分區(qū)LED冷光源，軟件操控，減少電氣元件損壞。 | |
| 光學(xué)鏡頭 | 0.7-4.5X同軸光自動變倍鏡頭 | |
| 金相物鏡 | 10X/0.28（35mm長工作距離） | |
| 放大倍率 | 光學(xué)放大倍率：7～45X；影像放大倍率：240～1100X | |
| 軟件 | SBK-CNC專用全自動標(biāo)準(zhǔn)版測量軟件 | |
| 電源 | 220V/50Hz/3A | |
| 工作環(huán)境 | 溫度25℃±2℃，溫度變化<2℃/hr，濕度30～80% | |
| 影像儀專用桌 | 內(nèi)置開關(guān)電源、控制器、電機驅(qū)動器、電源控制開關(guān)、指示燈、急停開關(guān)、移動滾輪 | |
| 保修期 | 12個月 | |
Z軸自動聚焦、對焦重復(fù)性可達(dá)<0.0002mm
適用于半導(dǎo)體封裝、焊接貼片、環(huán)路高度、FPD面板、（LCM）晶片級CSP等領(lǐng)域
可選配激光測量平面度及深度。
