日本電子掃描電子顯微鏡JSM-6510A/JSM-6510LA型與日本電子公司的元素分析儀(EDS),統(tǒng)合于一體。結構緊湊的EDS由顯微鏡主體系統(tǒng)的電腦控制,操作員只用一只鼠標,就可完成從圖像觀測到元素分析的整個過程。
操作窗口:
直觀的操作界面的設計,簡明易懂便于迅速掌握操作。
支持多用戶:
單個用戶可以根據(jù)常用功能設置相應的圖標,營造快捷的操作環(huán)境。用戶登錄時,即可加載已注冊過的設定。
同時顯示兩幅圖像:
畫面上并列顯示二次電子成像和背散射電子成像這兩種實時圖像??赏瑫r觀察樣品的形貌和組成分布。
微細結構測量:
適合于多種測量功能。可在觀察圖像上直接進行測量。也可將測量結果貼至SEM圖像,保存在文件中。
標準的全對中樣品臺,能收錄三維照片
3D Sight(選配件),能夠進行平面測量和高度測量,實現(xiàn)立體俯視圖。
從圖像觀察到元素分析,配合連貫
分析型掃描電子顯微鏡配備兩臺監(jiān)視器,一臺用于SEM圖像觀察和另一臺用于元素分析(EDS)。一只通用鼠標即可同時控制兩臺監(jiān)視器。大尺寸畫面使操作更加簡便與舒適。
維護簡便:
工廠預置中心燈絲,十分便于更換。因此,可長期保持穩(wěn)定的性能。此外,操作界面還能以映像形式顯示燈絲維護的步驟說明。
可信賴的真空系統(tǒng):
真空系統(tǒng)使用高性能的擴散泵保證了潔凈的高真空狀態(tài)。擴散泵內部無活動部件,體現(xiàn)了操作穩(wěn)定,維護簡便的特色。
日本電子掃描電子顯微鏡JSM-6510A/ JSM-6510LA型的JSM-6510規(guī)格
保證分辨率 | 3.0nm(30kV) |
放大倍數(shù) | 5至300,000x |
加速電壓 | 0.5kV至30kV |
電子槍 | 工廠預對中燈絲 |
聚光鏡 | 變焦聚光鏡 |
物鏡 | 錐形物鏡 |
樣品臺 | 全對中樣品臺 |
X-Y | 80mm-40mm |
Z | 5mm至48mm |
旋轉 | 360° |
傾斜 | -10°至+90° |
排氣系統(tǒng) | DPx1,RPx1 |
排氣系統(tǒng) | DPx1,RPx2 |