NRL90A愛發(fā)科干式真空泵
特長
NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化。除PVD工藝外，尤其適用于希望提高流量，縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。
低噪音、低振動
優(yōu)良的耐腐蝕性
標準零部件采用高硬度并經(jīng)過優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理，降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內(nèi)部的腐蝕程度。
選購件
可選購消音器、冷卻水流量開關(guān)、氮氣流量開關(guān)、泵溫傳感器。
用途
? 活性氣體（CVD、刻蝕等）。
? 排出非活性氣體（濺射鍍膜、 蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等）。
? 用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣（Si單晶爐等）
? 作為前級泵使用（渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵）。
? 冷凍干燥等水蒸氣排氣。
技術(shù)參數(shù)
* 1 極限壓力是氮氣（密封氣體）在5.0 SLM時的值。
* 2 無結(jié)露。
* 3 用調(diào)節(jié)閥所調(diào)整的壓力表的值。
* 4 氮氣（密封氣體）流量5.0 SLM是固定值。
外形尺寸圖
抽速曲線圖
