一、技術(shù)參數(shù)
儀器型號(hào) | 2010A | 3020A | 4030A | 5040A | 6050A |
X Y測(cè)量行程（mm） | 200*100 | 300*200 | 400*300 | 500*400 | 600*500 |
Z軸行程 | 有效空間245mm，調(diào)焦范圍200mm，工作距離95mm | ||||
工作臺(tái)尺寸 | 350*250 | 450*350 | 550*450 | 700*600 | 800*700 |
玻璃臺(tái)尺寸 | 230*130 | 330*230 | 430*330 | 530*430 | 630*530 |
三軸傳動(dòng) | 光桿傳動(dòng) | ||||
光柵分辨率 | 0.0005mm | ||||
測(cè)量精度 | ≤3μm±L/200 重復(fù)精度≤2μm | ||||
影像倍率 | 0.7-4.5定格鏡頭 15-150倍可調(diào) | ||||
光源系統(tǒng) | 表面光源與投射冷光源、二環(huán)八區(qū)可調(diào) | ||||
儀器外形 | 600*800*165 | 700*850*1650 | 800*900*1650 | 900*1050*1650 | 1000*1150*1650 |
儀器重量 | 220kg | 330kg | 400kg | 550kg | 650kg |
電腦配置 | 主流機(jī)型，雙核處理器、固態(tài)硬盤、19吋液晶顯示器、WIN7系統(tǒng) | ||||
可選配件 | 0.5X 2X物鏡 | ||||
影像測(cè)高(Z軸加光柵) | |||||
Z軸自動(dòng) | |||||
探針測(cè)頭 | |||||
二、配置清單
序號(hào) | 部品 | 規(guī)格/品牌 | 單位 | 數(shù)量 | 備注 |
1 | CCD | 高分辨率彩色1/3” CCD 780TVL（WM） | 個(gè) | 1PC | |
2 | 鏡頭 | 連續(xù)變倍高清鏡頭0.7X-4.5X | 套 | 1PC | |
3 | 測(cè)量軟件 | 專業(yè)WM測(cè)量軟件 | 套 | 1PC | |
4 | 光柵尺 | X/Y/軸0.0005mm（0.5um) 高精度 | 套 | 1PC | |
5 | 光源 | 5環(huán)8區(qū)表面光源+透射光源LED | 個(gè) | 1PC | |
6 | 數(shù)據(jù)處理器 | WM控制器 | 個(gè) | 1PC | |
7 | 導(dǎo)軌 | 進(jìn)口 (中國(guó)臺(tái)灣上銀）精密交叉導(dǎo)軌 | 副 | 3PC | |
8 | 光桿 | X/Y軸光桿傳動(dòng)，Z軸光軸傳動(dòng). | 條 | 3PC | |
9 | 機(jī)器平臺(tái) | 00級(jí)花崗巖大理石工作臺(tái) | 套 | 1PC | |
10 | 基座 | 00級(jí)花崗巖大理石 | 套 | 1PC | |
11 | 立柱 | 00級(jí)花崗巖大理石 | 套 | 1PC | |
12 | 視頻采集卡 | 2000 | 個(gè) | 1PC | |
13 | 防塵罩 | 無塵防塵罩 | 個(gè) | 1PC | |
14 | 控制電腦 | 詳見“電腦配置表” | 套 | 1PC | |
15 | 軟件 | 個(gè) | 1PC | ||
16 | 光學(xué)校正片 | 光學(xué)校正片 | 個(gè) | 1PC | |
17 | 儀器工作桌 | 電腦儀器桌 | 張 | 1PC | |
18 | 用戶手冊(cè) | 用戶手冊(cè) | 本 | 1PC | |
19 | 軟件使用說明書 | 軟件說明書 | 本 | 1PC |
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