| | 8500MC質(zhì)量流量控制器 | 8550MC質(zhì)量流量控制器 |
| 量程(N2) | 10SCCM-20SLPM | 30-100SLPM |
| 精度 | ±1.0%FS | ±1.5%FS |
| 有效范圍 | 2-99% | 5-99% |
| 重復(fù)性 | ±0.5%FS | |
| 響應(yīng)時(shí)間 | 2秒 | 3秒 |
| 動作壓差 | 50-300Kpa | 150-300Kpa |
| 另有低壓差、高壓差產(chǎn)品可選， | ||
| 耐壓 | 1.0Mpa | |
| 泄漏率 | 1*10-8pa·m3/s以下 | |
| 溫度范圍 | 5-45℃ | |
| 濕度范圍 | 10-90%RH(不能結(jié)露) | |
| 材質(zhì) | 本體SUS316、SUS316L、磁性材料等 | |
| 密封圈VITON，選配NBR或FKM | ||
| 電氣接口 | DB20 | |
| 模擬信號 | 0-5V、4-20MA輸入/輸出 | |
| 通訊 | RS232/485可選 | |
| LED顯示 | 瞬時(shí)/累計(jì)流量、多點(diǎn)報(bào)警輸出、可本地設(shè)定流量 | |
| 供電 | +24VDC、300mA | |
| 管路連接 | 標(biāo)配1/4F9 | 標(biāo)配3/8F9 |
| 選配1/8F9、1/4UJR、RC1/4 | 選配1/2F9、3/8UJR、RC3/8 | |
| 重量 | 約1200g | 約1500g |
| 針腳/顏色 | 定義 |
| 1針腳 | 電源COM |
| 2針腳 | 電源COM |
| 3針腳 | 信號COM |
| 4針腳 | 電源+24VDC |
| 5針腳 | 電源+24VDC |
| 6針腳 | 模擬信號輸入 |
| 7針腳 | 模擬信號輸出 |
| 8針腳 | 空 |
| 9針腳 | 空 |
| 10針腳 | 設(shè)定范圍檢查信號輸出 |
| 11針腳 | 上限/下限報(bào)警輸出 |
| 12針腳 | 集成模擬輸出信號 |
| 13針腳 | 事件報(bào)警模式1 |
| 14針腳 | 事件報(bào)警模式2 |
| 15針腳 | 事件報(bào)警模式3 |
| 16針腳 | 事件報(bào)警模式4 |
| 17針腳 | 事件報(bào)警模式5 |
| 18針腳 | RS232/485 TXD |
| 19針腳 | RS232/485 RXD |
| 20針腳 | 通訊COM |
一：進(jìn)氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進(jìn)水)、雜質(zhì)粉塵不超過20微米》。
二：用肥皂水對管路進(jìn)行泄漏檢測時(shí)，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。
三：在使用質(zhì)量流量控制器的時(shí)候，進(jìn)口前方加“ON/OFF電磁閥或手動切斷閥”。
四：安裝前，請將設(shè)備管路進(jìn)行整體吹掃。
五：通氣體時(shí)，請先開氣源，后設(shè)定值。
六：切勿在沒有通氣的情況下，對流量控制器進(jìn)行設(shè)定。
七：使用完以后，請將流量控制器值歸零或斷電。
八：需要進(jìn)行零點(diǎn)漂移清零的時(shí)候，確認(rèn)進(jìn)/出口沒流量沒壓力下、設(shè)定值是0的狀態(tài) 再操作。
