主要零件材料

閥體、閥蓋、閥桿：鋁合金、碳鋼或不銹鋼
密封件：丁腈橡膠、氟橡膠、波紋管(軸封)。

主要性能指標(biāo)

適用范圍：
1×10-6Pa～1.2×105Pa（波紋管密封）
1×10-5Pa～1.2×105Pa（氟膠圈密封）
打開時閥板上的壓差：
≤1.2×105 Pa任意方向
閥體和閥座漏率：≤1.3×10-7Pa·L·s-1
建議維修前循環(huán)次數(shù)：　200，000次
閥體烘烤溫度：≤150℃
安裝位置
-手動驅(qū)動：任意-氣動驅(qū)動：任意
-電磁驅(qū)動：任意（波紋管密封）；密封面朝向真空（氟膠圈密封）
電源
-氣動驅(qū)動：交流220V 50Hz，6W或直流24V，3W（特殊規(guī)格可定做）
-電磁驅(qū)動：交流220V或230V 50Hz，起動功率800W、保持功率8W
壓縮空氣（只適用于氣動）：0.4～0.7MPa
閥門開啟和關(guān)閉時間

-氣動驅(qū)動：≤1s
-電磁驅(qū)動：開啟≤0.1s；
關(guān)閉≤1s（氟膠圈密封）、關(guān)閉≤0.5s（波紋管密封）
閥門位置指示
-手動驅(qū)動：帶有啟閉位置指示
-氣動驅(qū)動：帶有啟閉位置指示開關(guān)（磁性開關(guān)）
-電磁驅(qū)動：帶有開啟位置指示燈