技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號:SJ6000產(chǎn)品名稱:SJ6000激光干涉儀
穩(wěn)頻方式:雙頻激光熱穩(wěn)頻
穩(wěn)頻精度:0.05ppm
線性測量精度:0.5ppm(0-40)℃
線性測量距離:(0-80)m(無需遠(yuǎn)距離線性附件)
角度測量精度:±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m
測量分辨力:1nm
動態(tài)采集頻率:50KHz
預(yù)熱時間:≤6分鐘
工作溫度范圍:(0-40)℃
環(huán)境溫度范圍:(0-40)℃,環(huán)境濕度:0-95%
主要特點:應(yīng)用范圍廣、測量精度高、操作方便
生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司
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中圖儀器雙頻激光干涉儀采用雙頻氦氖激光器作為光源。其精度高,抗力強(qiáng),空氣湍流、熱波動等影響甚微,因此降低了對環(huán)境條件的要求,使它不僅能用于實驗室,還可在車間條件下測量大距離用。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點。分辨率0.01″,系統(tǒng)測量精度為±1″,基準(zhǔn)WR50自動精密轉(zhuǎn)臺重復(fù)精度為0.2″。主要特點是小巧便攜、功能強(qiáng)、無線操作。
中圖儀器雙頻激光干涉儀結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態(tài)測量軟件配合下,還可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。