PHI X-tool 全自動掃描型微區(qū)探針能譜儀是一款操作簡單，同時具備高效高能的XPS。其秉承PHI-XPS的掃描聚焦X-ray系統(tǒng)，可通過單色化石英晶體叫X-ray直接聚焦至20μm。和傳統(tǒng)的XPS相比，不采用光闌進(jìn)行選區(qū)，極大的提高了XPS在200μm以下空間尺度的靈敏度。同時，不需要增加磁透鏡，即可得到的靈敏度及優(yōu)秀的信噪比，即使磁性樣品，也可輕松應(yīng)對。
的操作性
PHI X-tool 全自動掃描型微區(qū)探針能譜儀軟件支持直觀的觸摸屏操作，所有XPS測定過程都可在觸摸屏上完成。用戶可以自由選擇手動操作模式和自動操作模式（自動定性、定量、分析及完成報告），操作者無論是否具有豐富的XPS操作經(jīng)驗，均能輕松應(yīng)對。
自動參數(shù)設(shè)定、自動完成報告
PHI X-tool具備自動對焦功能（Auto-Z），使分析位置處于X射線的焦平面上，得到的分析條件。其可實現(xiàn)中和參數(shù)的自動匹配，無論樣品的導(dǎo)電性如何，均可輕松應(yīng)對。
自動定性：實現(xiàn)譜峰自動識別
自動定量：自動選定譜峰定量范圍
自動曲線擬合：可自動實現(xiàn)預(yù)定條件的曲線擬合
自動生成實驗報告
多方式樣品觀察
在XPS分析中，樣品觀察，特別是微區(qū)定位至關(guān)重要。PHI X-tool可通過以下三種方式進(jìn)行樣品觀察：a. 進(jìn)樣室高空間分辨率圖像；b. 實時CCD成像；c. 二次電子像（SXI）。利用這幾種方法觀察樣品，不論樣品大小，表面形貌如何均可輕松確定測試位置。
詳細(xì)的條件設(shè)定和直觀的操作
結(jié)合材料和目的，可詳細(xì)設(shè)定分析的條件。通過內(nèi)置元素周期表，可設(shè)定各光電子峰和俄歇峰。通過更改通過能、步長、積分時間設(shè)定窄譜掃描參數(shù)。對每個樣品可設(shè)置習(xí)慣的文件名和樣品名稱。
快速化學(xué)成像
采用掃描X射線和高靈敏度檢測器及非掃描模式，可實現(xiàn)快速成像分析。每個點都可以直接調(diào)取全部的譜數(shù)據(jù)。化學(xué)態(tài)成像的空間分辨率、靈敏度、能量分辨率與儀器主指標(biāo)*。
采用PHI的硬件設(shè)計
微聚焦掃描X-ray源；
雙束中和系統(tǒng)，低能離子束及低能電子束自動配合；
浮動離子槍，離子加速電壓條件范圍可達(dá)0~5kV