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otsukael顯微鏡分光膜厚儀紫外光譜儀

參考價	￥ 220000
訂貨量	≥100臺

具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱深圳九州工業(yè)品有限公司
品牌其他品牌
型號OPTM
所在地深圳市
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
更新時間2023/4/14 16:33:30
訪問次數(shù)968

產(chǎn)品標簽:

顯微鏡分光膜厚儀旋轉(zhuǎn)分析器膜厚計儀器簡易設定

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公司介紹主營產(chǎn)品

深圳九州工業(yè)品有限公司，坐落于深圳市，是一家工業(yè)品綜合服務商。主要包括機電設備、電子產(chǎn)品、儀器儀表、工業(yè)器材的銷售及其它國內(nèi)貿(mào)易、經(jīng)營進出口等業(yè)務。搭建工業(yè)品供應鏈，采用與 MRO分銷商結(jié)盟的方式，把零散采購訂單集中處理，流程簡化，提供一站式供應服務。在美國、德國、日本、韓國、中國臺灣建專業(yè)國際采購團隊、技術顧問、銷售團隊為各種領域提供各類高品質(zhì)的工業(yè)產(chǎn)品和優(yōu)質(zhì)的整合服務。通過與廠家建立快捷、有效的溝通，和眾多國外生產(chǎn)廠家建立了長久合作伙伴關系。

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otsukael顯微鏡分光膜厚儀OPTM的介紹

除了可以進行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外，它還通過實現(xiàn)自動可變測量角度機構(gòu)來兼容所有類型的薄膜。除了傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)分析器方法外，還通過為延遲板提供自動安裝/拆卸機構(gòu)提高了測量精度。

otsukael顯微鏡分光膜厚儀紫外光譜儀產(chǎn)品信息

otsukael顯微鏡分光膜厚儀OPTM的介紹

產(chǎn)品信息

特征

膜厚測量范圍 1 nm 至 92 μm（SiO ₂換算）
薄膜厚度值的高重復性
每點1秒以內(nèi)的高速測量
圖案可瞄準微小點（最小Φ3μm）
適用于圖案化晶圓的膜厚測繪
可以獲取用于圖案對齊的圖像

除了可以進行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外，它還通過實現(xiàn)自動可變測量角度機構(gòu)來兼容所有類型的薄膜。除了傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)分析器方法外，還通過為延遲板提供自動安裝/拆卸機構(gòu)提高了測量精度。

特征

可在紫外-可見（300 至 800 nm）波長范圍內(nèi)測量橢圓參數(shù)
能夠分析納米級多層薄膜的膜厚
通過 400 通道或更多通道的多通道光譜快速測量橢圓光譜
支持通過可變反射角測量對薄膜進行詳細分析
通過創(chuàng)建光學常數(shù)數(shù)據(jù)庫和添加配方注冊功能提高可操作性

測量項目

橢圓參數(shù)（tanψ，cosΔ）測量
光學常數(shù)（n：折射率，k：消光系數(shù)）分析
膜厚分析

測量對象

半導體ウェーハ
ゲート酸化薄膜，窒化膜
SiO₂，SixOy，SiN，SiON，SiNx，Al₂O₃，SiN_xO_y，poly-Si，ZnSe， BPSG，TiN
レジストの光學定數(shù)(波長分散)
化合物半導體
Al_xGa_(1-x)As 多層膜，アモルファスシリコン
FPD
配向膜
各種新素材
DLC(Diamond Like Carbon)，超伝導用薄膜，磁気ヘッド薄膜
光學薄膜
TiO₂，SiO₂，反射防止膜
リソグラフィー分野
g線(436nm)，h線(405nm)，i線(365nm)などの各波長におけるn，k評価