采用激光干涉儀對數(shù)控機床進行定位精度檢測、機床誤差修正是目前的高效、高精度的檢測方法。如何利用激光干涉儀進行機床定位精度檢測和補償進行機床修正?
中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)出的超精密SJ6000機床激光干涉儀,具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合,可以實現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關(guān)軟件的配合下,還可以對數(shù)控機床進行動態(tài)性能檢測,如可以測量數(shù)控機床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動態(tài)參量,可以進行機床振動測試與分析,滾珠絲桿的動態(tài)特性分析,驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析,導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等,具有的精度和效率,而且及時處理數(shù)據(jù),為機床誤差修正提供依據(jù)。
中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)出的超精密SJ6000機床激光干涉儀,具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合,可以實現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關(guān)軟件的配合下,還可以對數(shù)控機床進行動態(tài)性能檢測,如可以測量數(shù)控機床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動態(tài)參量,可以進行機床振動測試與分析,滾珠絲桿的動態(tài)特性分析,驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析,導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等,具有的精度和效率,而且及時處理數(shù)據(jù),為機床誤差修正提供依據(jù)。
產(chǎn)品參數(shù)

技術(shù)指標

位置精度測量分為反向間隙測量、重復(fù)定位精度測量和定位精度測量,又稱之為線性測量。SJ6000機床激光干涉儀標配的線性鏡組,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成??蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償,一次測量即可得出上述三種誤差。

依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺
SJ6000機床激光干涉儀全套系統(tǒng)






線性測量中目標位置的數(shù)據(jù)采集有【基于位置的目標采集】和【基于時間的目標采集】兩種方式,普遍使用基于位置的目標采集方式:被測運動軸需設(shè)置若干個等距的定位點,當(dāng)測長機的測頭移動到設(shè)置的定位點時,需設(shè)置停留時間,以供SJ6000機床激光干涉儀進行當(dāng)前點的數(shù)據(jù)采集。測量結(jié)果將會自動生成分析曲線,即可得到導(dǎo)軌的運行軌跡。


機床誤差修正激光干涉儀維護

數(shù)控機床精度校準

測量機床回轉(zhuǎn)軸精度



中圖儀器是一家企業(yè),經(jīng)過十多年在幾何量測量領(lǐng)域的潛心研究,現(xiàn)有員工200余人,集光、機、電、信息技術(shù)于一體的技術(shù)團隊,在微納米運動設(shè)計制造、微納米顯微測量三維重建、顯微測量3D形貌分析、大尺寸三維空間測量、精密傳感測頭、光柵導(dǎo)軌測控等眾多技術(shù)領(lǐng)域形成了設(shè)計、制造優(yōu)勢,具備了從納米到百米為用戶提供精密測量解決方案的能力!