特點
緊湊型設(shè)計,分辨率為4 nm*1
通過高靈敏度二次電子探測器,背散射探測器,低真空探測器(UVD*2),實現(xiàn)低加速電壓/低真空下高質(zhì)量圖像觀察
操作簡捷,即使新手也能拍出高質(zhì)量的圖片
新開發(fā)的導(dǎo)航功能「SEM MAP」,便于快速鎖定視野
大窗口(30 mm2)SDD能譜系統(tǒng),便于快速分析元素成分*2
規(guī)格
項目 | 內(nèi)容 |
分解能*3 | 4.0 nm @ 20 kV (SE:高真空模式) |
加速電壓 | 0.3 kV ~ 20 kV |
放大倍率 | 6× ~ 300,000× (底片倍率) |
低真空模式 | 真空范圍:6 ~ 100 Pa |
電子槍 | 預(yù)對中鎢燈絲 |
樣品臺 | 3-軸自動馬達臺 |
樣品尺寸 | 直徑80 mm |
樣品高度 | 40 mm |
尺寸 | 主機:450(W) x 640(D) x 670(H) mm |
探測器選配 | · 高靈敏度低真空二次電子探測器(UVD) · 能量分散型X線探測器(EDS) |