品牌:日本TAITEC
氟作為專(zhuān)用熱媒、超低溫度較寬溫度范圍使用。窗體底端
窗體頂端
主要用途
蝕刻裝置等的冷卻
主要特點(diǎn)
氟作為專(zhuān)用熱媒、超低溫度較寬溫度范圍使用
使用溫度范圍- 60℃~+ 60℃,超低溫下冷卻性能也很穩(wěn)定。由于氟作為熱媒,循環(huán)液罐是密閉式的。
無(wú)液漏之憂(yōu)的泵,通過(guò)逆變器進(jìn)行控制
使用了磁鐵耦合型密封泵,無(wú)液體泄漏。
技術(shù)參數(shù)型號(hào) | UC-70 |
使用溫度范圍 | -60℃~+60℃(*1) |
溫度調(diào)節(jié)精度 | 加熱器PID控制、±0.5℃以?xún)?nèi)(*2) |
冷卻能力 | 循環(huán)液溫-30℃:1.15kW 循環(huán)液溫-50℃:0.7kW(*3) |
冷凍機(jī)(水冷式)功率 | 1.5kW |
泵能力 | 排水圧力[MPa]:0.55 流量[L/min]:6/11 功率輸出[kW]:0.75(*4) |
功率輸出 | 2.4kW |
安全器/安全功能 | 漏電斷路器、罐內(nèi)液面低下、循環(huán)液高溫、熱敏繼電器(冷凍機(jī)?泵)、冷媒高壓?低壓壓力、循環(huán)流量低下、溫度傳感器異常檢測(cè)、以防止觸電、緊急停止開(kāi)關(guān) |
警報(bào)功能 | 循環(huán)液補(bǔ)充、循環(huán)液溫異常(高溫、低溫、溫度偏差)、泵壓力偏差(*5) |
輸入/輸出功能 | 遠(yuǎn)程信號(hào)輸入、液溫度設(shè)定信號(hào)輸入、緊急停止信號(hào)輸入、裝置運(yùn)轉(zhuǎn)信號(hào)輸出、裝置異常信號(hào)輸出、液溫度監(jiān)視器輸出 |
適用熱媒體(循環(huán)液) | GALDEN HT110 |
循環(huán)液罐容量 | 約2.5L(+備用罐:約9.2L) |
所要一次冷卻水量 | 冷卻水溫度+20℃:11L/min 冷卻水溫度+30℃:23L/min(*6) |
配管連接口徑(循環(huán)液出入口、一次冷卻水出入口) | Rc1/2(閥裝備)、Rc1/2 |
外形尺寸 | 553×850×1281Hmm |
重量 | 約235kg |
電源 | 三相AC200V?50/60Hz?30A(*7) |
運(yùn)轉(zhuǎn)電流[A](50/60Hz) | 19/21 |
標(biāo)配附件 | D輔助連接器×1(*8)、電源線(xiàn)(4m)、泄水接水裝置 |
(*2)循環(huán)流量6L/min以上的運(yùn)轉(zhuǎn)。
(*3)冷卻能力根據(jù)循環(huán)流量變化,請(qǐng)注意。
(*4)排水圧力的運(yùn)轉(zhuǎn)周波數(shù)75Hz時(shí),循環(huán)流量應(yīng)設(shè)定為0.15MPa。
(*5)警報(bào)功能啟動(dòng)時(shí),裝置也會(huì)繼續(xù)運(yùn)行。
(*6)所要冷卻水不能正常供應(yīng),是冷卻能力下降和問(wèn)題發(fā)生的原因。
(*7)本產(chǎn)品是根據(jù)不同地域的50Hz和60Hz做調(diào)整之后出貨。在詢(xún)問(wèn)的時(shí)候,請(qǐng)先確認(rèn)。在購(gòu)買(mǎi)后地域移動(dòng)需重新調(diào)整。
(*8)連接連接器用的信號(hào)線(xiàn)不標(biāo)配。
●本產(chǎn)品使用環(huán)境溫度范圍+5℃~+35℃。
●本機(jī)為大型、重量機(jī)器,運(yùn)送、安裝等費(fèi)用需另付。