一、簡介
傳統(tǒng)雙頻激光干涉儀（Traditional Dual-frequency Laser Interferometer series，TDI）采用傳統(tǒng)的空間光傳輸，分辨率可達0.077nm，它具有*的測量性能以及實時閉環(huán)反饋功能，主要應用于亞納米精密測量領域。
上海拍頻光電科技有限公司自主開發(fā)的傳統(tǒng)雙頻激光干涉儀系統(tǒng)，主要特點如下：
?支持位移、速度、角度測量
?采用平鏡干涉儀測量，達到4倍光學細分
?具有高數據采樣率，支持位移和速度的實時閉環(huán)反饋
?采用雙頻干涉技術，抗力強，易進行多軸擴展，測量結果噪聲低
?單塊數字信號處理器支持相互獨立的6軸同時測量，并支持多處理器級聯(lián)
二、系統(tǒng)構成
傳統(tǒng)雙頻激光干涉儀的主要架構如下圖所示。
傳統(tǒng)雙頻激光干涉儀主要由雙頻激光器、激光器可調底座、導光元件、導光元件可調底座、光纖耦合器、光纖、信號處理卡等部件組成。
三、性能參數
上海拍頻光電科技有限公司研發(fā)的傳統(tǒng)雙頻激光干涉儀，主要系統(tǒng)參數如下表：
| 指標名稱 | 參數 |
測量分辨率（Resolution） | 0.077nm @ 4 optical division |
測量范圍（Range） | 20m |
采樣速率（Sampling rate） | 10MHz |
通訊接口（Interface） | VME / ABZ / RS485 / 網口 |
備注：可定制VPX通訊接口，可定制更高測量分辨率。
