一）系統(tǒng)簡介
上海拍頻光電科技有限公司自主研發(fā)的光纖雙頻激光干涉儀系列（OpticalFiber Dual-frequency Laser Interferometer series，F(xiàn)DI）依然是基于雙頻外差干涉原理，與傳統(tǒng)雙頻激光干涉儀系列不同的是，光纖雙頻激光干涉儀系列采用光纖進(jìn)行光路傳輸，結(jié)合了雙頻外差干涉和光纖傳輸?shù)膬?yōu)點(diǎn)，在保留了雙頻干涉的高精度基礎(chǔ)上，提高了使用的便捷性，主要應(yīng)用于精密運(yùn)動(dòng)控制、機(jī)床測(cè)校、精密軸系測(cè)校、各類計(jì)量標(biāo)定等領(lǐng)域。
二）系統(tǒng)構(gòu)成
上海拍頻光電科技有限公司開發(fā)的光纖雙頻激光干涉儀由雙頻干涉控制器、各種光纖雙頻干涉儀（光纖探針干涉儀、光纖單軸干涉儀、光纖雙軸干涉儀、光纖三軸干涉儀）、被測(cè)反射鏡、上位機(jī)軟件等部分組成，如下圖所示。
光纖雙頻激光干涉儀系統(tǒng)示意圖
三）主要特點(diǎn)
主要特點(diǎn)如下：
?支持位移、速度、角度、直線度、平行度、垂直度等測(cè)量
?采用外差信號(hào)相位解調(diào)技術(shù)，測(cè)量速度和測(cè)量分辨率相互獨(dú)立
?采用雙頻干涉技術(shù)，抗力強(qiáng)，易進(jìn)行多軸擴(kuò)展，測(cè)量結(jié)果噪聲低
?單塊數(shù)字信號(hào)處理器支持相互獨(dú)立的6軸同時(shí)測(cè)量，并支持多處理器級(jí)聯(lián)
?支持高精度環(huán)境誤差補(bǔ)償
四）主要性能
主要技術(shù)指標(biāo)如下：
| 指標(biāo)名稱 | 參數(shù) | 備注 |
| 測(cè)量分辨率 | 0.3nm | 更高分辨率可定制 |
| 測(cè)量速度 | 4000mm/s | 更高測(cè)量速度可定制 |
| 測(cè)量范圍 | 10m | |
| 采樣速率 | 10MHz | |
| 波長穩(wěn)定度 | 0.01ppm@1hour | |
| 線性測(cè)量精度 | 0.1ppm | |
| 通訊接口 | Ethernet/ABZ | 其它接口可定制 |
