一）系統(tǒng)簡介

上海拍頻光電科技有限公司自主研發(fā)的光纖雙頻激光干涉儀系列（OpticalFiber Dual-frequency Laser Interferometer series，F(xiàn)DI）依然是基于雙頻外差干涉原理，與傳統(tǒng)雙頻激光干涉儀系列不同的是，光纖雙頻激光干涉儀系列采用光纖進行光路傳輸，結(jié)合了雙頻外差干涉和光纖傳輸?shù)膬?yōu)點，在保留了雙頻干涉的高精度基礎(chǔ)上，提高了使用的便捷性，主要應(yīng)用于精密運動控制、機床測校、精密軸系測校、各類計量標定等領(lǐng)域。

二）系統(tǒng)構(gòu)成

上海拍頻光電科技有限公司開發(fā)的光纖雙頻激光干涉儀由雙頻干涉控制器、各種光纖雙頻干涉儀（光纖探針干涉儀、光纖單軸干涉儀、光纖雙軸干涉儀、光纖三軸干涉儀）、被測反射鏡、上位機軟件等部分組成，如下圖所示。

光纖雙頻激光干涉儀系統(tǒng)示意圖

三）主要特點

主要特點如下：

?支持位移、速度、角度、直線度、平行度、垂直度等測量

?采用外差信號相位解調(diào)技術(shù)，測量速度和測量分辨率相互獨立

?采用雙頻干涉技術(shù)，抗力強，易進行多軸擴展，測量結(jié)果噪聲低

?單塊數(shù)字信號處理器支持相互獨立的6軸同時測量，并支持多處理器級聯(lián)

?支持高精度環(huán)境誤差補償

四）主要性能

主要技術(shù)指標如下：