系統(tǒng)集成了一對共焦色差位移傳感器（納米分辨率），采用單點(diǎn)非接觸式測量，配合高速X/Y/Z多軸坐標(biāo)運(yùn)動，可以同時采集單個鏡片或微鏡頭前后表面和基準(zhǔn)面的3D形狀點(diǎn)云得到相應(yīng)的幾何特征。不僅可以測量旋轉(zhuǎn)對稱的樣品，還可測量更復(fù)雜的非軸對稱或自由曲面樣品，樣品的直徑可達(dá)到50mm（外徑75mm）。
根據(jù)透鏡直徑和三維點(diǎn)云采樣密度的不同，透鏡每個表面的測量時間范圍是30秒到4分鐘 。（30-240秒）
應(yīng)用
CUBE系統(tǒng)是專門為車間的品控設(shè)計的，針對拋光、模壓和金剛石車削的光學(xué)元件的快速檢驗(yàn)，包括紅外材料和金屬。這個系統(tǒng)的另一個優(yōu)勢是能在單個測量序列中完成多個較小的透鏡或透鏡陣列的測量。
測量的幾何特征包括：
1. 相對于中心軸，前后表面頂點(diǎn)的偏移
2. 相對于水平基準(zhǔn)，前后表面的楔角
3. 前后表面的總體厚度變化（TTV）
4. 前后表面矢高與表面面形
? 緊湊，帶隔離箱的臺式設(shè)計
? 雙共焦色差傳感器（8kHz）、單點(diǎn)、非接觸、可見光測量
? 振動不敏感，穩(wěn)定的殷鋼框架
? 納米級編碼X/Y/Z多軸坐標(biāo)運(yùn)動，以磁驅(qū)直線電機(jī)，采用交叉滾子軸承，在50mmx50mm x50mm的范圍內(nèi)，完成快速柵格或螺旋掃描
? 精密自定心夾具，快速裝卸樣品
? 夾具同時適用于75mm外徑的光學(xué)元件和微透鏡陣列
? 簡單方便的QuickPro操作和數(shù)據(jù)采集軟件，擁有傳感器優(yōu)化設(shè)置、數(shù)據(jù)采集、自動定心和坐標(biāo)運(yùn)動功能
? CalcuSurf-3D 視圖分析軟件，用于觀察分析多表面的三維點(diǎn)云數(shù)據(jù)
| 系統(tǒng) | |||
| 尺寸（長/寬/高） | 500mm/500mm/500mm | ||
| 重量 | 30kg | ||
| 系統(tǒng)控制 | 電源，運(yùn)動控制，傳感器控制 | ||
| 電源 | |||
| 運(yùn)動控制 | |||
| 運(yùn)動范圍 | 50mm x50mm x50mm | ||
| 編碼器分辨率（X/Y/Z） | 5nm/5nm/1nm | ||
| 驅(qū)動形式 | 磁驅(qū)直線電機(jī) | ||
| 軸承形式 | 交叉滾子軸承 | ||
| 平整度 | 1um/50mm | ||
| 樣品尺寸 | 外徑75mm | ||
| 載重 | 2kg | ||
| 傳感器 | |||
| 技術(shù) | 色差共聚焦 | ||
| 應(yīng)用 | 距離，偏心，楔角，矢高，厚度 | ||
| 采樣 | ：4000點(diǎn)/秒 | ||
| 可選測頭 | 0.2mm | 1mm | 4mm |
| 橫向分辨率 | 1.5um | 2.5um | 4um |
| 工作距離 | 5mm | 16mm | 37mm |
| 軸向分辨率 | 10nm | 50nm | 150nm |
| 軸向精度 | 50nm | 100nm | 500nm |
| 斜率 | ±45° | ±28° | ±20° |
| 測量精度 | |||
| 平移偏心 | ≤5um | ||
| 傾斜偏心 | ≤10arcsec | ||
| 矢高誤差 | ≤0.5um | ||
| 厚度（S1-S2） | ≤5um | ||
