●300W的大功率上照射X射線源,無陰影的XPS分析
●錐形塊體式陽極靶,抗污染能力強
●能量分辨率優(yōu)于 0.8eV(Mo 3d5/2)
●常規(guī)分析能量分辨和靈敏度高達1.15eV@700kcps(Ag 3d5/2)
●結(jié)合了數(shù)據(jù)采集和數(shù)據(jù)處理的Vision軟件,可運行于Windows XP/Vista/7等多種平臺下,實現(xiàn)各真空室真空度實時顯示,操控真空閥門開關(guān),實驗條件設(shè)定和全自動無人值守分析等強大功能
XPS:固體樣品的表面組成分析,化學狀態(tài)分析,取樣訊息深度為~10nm以內(nèi). 功能包括:
1. 表面定性與定量分析. 可得到小於10um 空間分辨率的X射線光電子能譜的全譜資訊。
2. 維持10um以下的空間分辨率元素成分包括化學態(tài)的深度分析(角分辨方式,,氬離子或團簇離子刻蝕方式)
3. 線掃描或面掃描以得到線或面上的元素或化學態(tài)分布。
4. 成像功能。
5. 可進行樣品的原位處理 AES:1.可進行樣品表面的微區(qū)選點分析(包括點分析,線分析和面分析) 2.可進行深度分析適合: 納米薄膜材料,微電子材料,催化劑,摩擦化學,高分子材料的表面和界面研究