智能質(zhì)量流量計 小體積流量控制器 熱式氣體質(zhì)量流量計
用途與特點
質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、是有工業(yè)、醫(yī)藥、***和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括：電子工藝設(shè)備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。
主要技術(shù)指標(biāo)
量程范圍 （20,30,50,100,200,300,500）SCCM （0~1,2,3,5,10）SLM
準(zhǔn)確度 +1.5%F.S
線性 +0.5~1.5%F.S
重復(fù)精度 +0.2%F.S
響應(yīng)時間 10sec 氣特性：（1~4）sec
工作壓差 0.1~0.5MPa
耐壓 3Mpa 6Mpa 10Mpa
工作環(huán)境溫度 0~70℃
數(shù)字量 RS485 MODBUS 協(xié)議
模擬量 DC 0~5V ，4~20mA 可選
電特性：SLM
供電 DC +15V/24V 可選，流量計＜50mA，控制器＜200mA
電氣連接 DB15
漏率 1×10 SCCSHe
底座材質(zhì) 316L 不銹鋼
密封材質(zhì) 氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠
氣路接頭 Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞
注意: 質(zhì)量流量計和質(zhì)量流量控制器出廠通常用氮氣(N₂)標(biāo)定.
質(zhì)量流量的單位規(guī)定為:SCCM(標(biāo)準(zhǔn)毫升/分);SLM(標(biāo)準(zhǔn)升/分)
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