CYG511型薄形壓力傳感器是專為空氣動(dòng)力學(xué)研究中，風(fēng)洞中試驗(yàn)?zāi)Ｐ捅砻鎵毫?chǎng)分布設(shè)計(jì)的。它尤其適用于模型很薄，無(wú)法用打孔安裝微型探針型傳感器的應(yīng)用工況。將極薄的傳感器直接貼裝或挖淺坑埋下平貼齊模型表面安裝。它極薄的專用柔性引線可直接貼在模型表面上。因此它基本上不影響被測(cè)流場(chǎng)。
CYG511的壓力敏感元件采用*的MEMS技術(shù)設(shè)計(jì)與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)秀的線性精度、離子注入、精細(xì)光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度一致性使其具有很小的溫度漂移、體微機(jī)械加工，精密各向異性腐蝕及硅硅直接鍵合技術(shù)使得硅薄膜力敏結(jié)構(gòu)具有很高靈敏度，很優(yōu)良穩(wěn)定性，很優(yōu)良動(dòng)態(tài)性能的同時(shí)具有超薄的厚度。它綜合力敏結(jié)構(gòu)與襯底加固結(jié)構(gòu)的總厚度僅為0.6mm，更有利于獲得更薄最終尺寸的薄形傳感器。
CYG511為絕壓測(cè)量模式，標(biāo)準(zhǔn)壓力量程為100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000kpa。
CYG511外形為薄圓扣式。標(biāo)稱直徑為ф8 mm，厚度為2.2 mm，引出線為5線柔性電線，長(zhǎng)度為1m，在1m終點(diǎn)處接有用PCB板制成的電橋補(bǔ)償平衡器，柔性電線的厚度為0.15 mm，寬度為4 mm。
CYG511由于用敏感元件正面承壓，因此它適用于無(wú)腐蝕性，不導(dǎo)電性的干燥氣體。它有相當(dāng)寬的工作溫區(qū)和非常優(yōu)良的動(dòng)態(tài)頻響特性，可使用在低至零頻，高至數(shù)千赫茲頻帶。如果介質(zhì)因素復(fù)雜，含水量高，可使用復(fù)蓋有有機(jī)硅凝膠保護(hù)表面及電極的CYG511S（有機(jī)硅凝膠會(huì)降低其動(dòng)態(tài)頻響性能）。采用薄膜有機(jī)材料覆蓋保護(hù)的產(chǎn)品CYG511P，由于保護(hù)膜厚度為um量級(jí)，對(duì)動(dòng)態(tài)頻響損失較少，特制周期較長(zhǎng)及有較多的成本增加。
1、性能指標(biāo)參數(shù)：
| 指標(biāo)/檔級(jí) | 非線性精度 ±%FS | 遲滯重復(fù)性 %FS | 零位溫度系數(shù) ×10-4FS /℃ | 靈敏度溫度系數(shù) ×10-4FS /℃ | 零位時(shí)漂 ＜mv/8h |
| JA | 0.5 | 0.1 | 5 | 5 | 0.2 |
| JB | 0.2 | 0.1 | 2 | 2 | 0.1 |
2、滿量程輸出： 最小值30mv 典型值80mv 值130mv
3、輸入輸出阻抗：最小值3 kΩ 典型值5 kΩ 值7 kΩ
4、輸入工作電流：1mA（恒流源）
5、工作溫度范圍：-55℃～+120℃
6、補(bǔ)償溫度范圍：-10℃～+80℃
7、過(guò)載能力： 額定量程的200%
8、加速度靈敏度：＜0.001%FS/g
9、外形尺寸圖：
