產品特點 : l 高速移動和定位 l 130mm/260mm長測量行程以及大測頭測量范圍 l 創(chuàng)新測針系統(tǒng)以及仿生學測臂設計 l 磁性的測臂夾持裝置和測臂識別裝置 l 粗糙度和輪廓度二合一 l 基于友好服務理念的模塊化設計 | ||||||
技術參數(shù): 水平軸的特征: ? 行程長度(Lt):0. mm to 260 mm ? 定位速度:0.02 mm/s 到 200 mm/s ? 測量速度:0.02 mm/s 到 10 mm/s; 粗糙度測量 推薦速度0.1 mm/s至0.5 mm/s ? X方向取樣間距:0.05 μm至30 μm,可調整 ? 每次測量最多測量點:5200000點 ? 分辨率:0.8 nm ? X軸測量的不確定度:± (0.2+l/1000) μm; l 單位 mm 測頭系統(tǒng)特征: ? 測頭測量范圍:26 mm (200 mm測臂) ? 分辨率:0.8mm ? 測量力:0.5 mN to 30 mN, 可通過軟件設置 殘余誤差 Rz0, Rq0: ? vt = 0.1 mm / s時的殘余誤差:Rz0≤ 20 nm Rq0≤ 1 nm, typical 輪廓: ? 距離測量顯示誤差:± (1.0+l / 150) µm; l 單位 mm ? 半徑測量顯示誤差:(R ≤ 10 mm) ± 1 µm (10 mm < R ≤ 300 mm) ± 0.17 + (R/ 12) µm (R > 300 mm) ± (-18 + R / 7) µm | ||||||