工作原理介紹
利用化學(xué)反應(yīng)、復(fù)分解反應(yīng)等基本原理,與各種廢氣產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng),生成穩(wěn)定的無毒無害的化合物或者復(fù)合物,可直接用于修路、垃圾填埋等,不會產(chǎn)生二次污染。
工藝流程
半導(dǎo)體行業(yè)的含砷廢氣從機(jī)臺端單獨(dú)收集,形成獨(dú)立的系統(tǒng),砷烷磷烷的處理系統(tǒng)主要分為兩個(gè)部分,d一階段為Local Scrubber,即本地的干式吸附裝置,采用的原理也是化學(xué)吸附,目前隨著國j及各地區(qū)環(huán)保排放標(biāo)準(zhǔn)日驅(qū)嚴(yán)格,在含砷系統(tǒng)的Local Scrubber的基礎(chǔ)上匯集到屋面時(shí)會在Central端再次進(jìn)行干式吸附,使用的設(shè)備稱為砷磷烷吸附塔,一般砷磷烷吸附塔也會配置一用一備模式,吸附后通過末端風(fēng)機(jī)負(fù)壓達(dá)標(biāo)排放。
內(nèi)部結(jié)構(gòu)
砷磷烷也可以稱含砷廢氣吸附裝置,一般也可分為立式和臥式兩種結(jié)構(gòu),如上述內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖,立式吸附塔側(cè)進(jìn)上出,臥式吸附塔側(cè)進(jìn)側(cè)出,分為初效吸附劑和主反應(yīng)藥劑兩個(gè)部分,砷磷烷的關(guān)鍵點(diǎn)就在于吸附劑的選擇和使用。
設(shè)計(jì)條件
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廢氣風(fēng)量
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進(jìn)氣中成分及各成分占比
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進(jìn)氣種含砷烷、磷烷及其他特氣的濃度
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進(jìn)氣溫度、濕度情況
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運(yùn)行要求,24h連續(xù)運(yùn)行或間歇運(yùn)行
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安裝位置環(huán)境
價(jià)格標(biāo)準(zhǔn)
在砷磷烷吸附塔進(jìn)行報(bào)價(jià)的過程中,要先要根據(jù)現(xiàn)場實(shí)際需求進(jìn)行選型設(shè)計(jì),選型主要是參照上述描述的設(shè)計(jì)條件,z終根據(jù)現(xiàn)場空間設(shè)計(jì)出砷磷烷吸附塔的圖紙及吸附劑用量,核算出合理的市場價(jià)格。
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