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HMDS預(yù)處理真空干燥箱|真空烘箱

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公司名稱上海和呈儀器制造有限公司
品牌
型號(hào)
所在地上海市
廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2023/6/11 14:59:42
訪問(wèn)次數(shù)179

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上海和呈儀器制造有限公司主要提供：高低溫試驗(yàn)箱、高溫箱、恒溫恒濕試驗(yàn)箱、低溫箱、恒溫恒濕機(jī)、真空烘箱、高低溫交變?cè)囼?yàn)箱、高低溫沖擊試驗(yàn)箱、高低溫濕熱試驗(yàn)箱、防潮柜、鼓風(fēng)干燥箱等系列恒溫干燥設(shè)備產(chǎn)品，其產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用于：制藥；機(jī)械；高校；電子；化工；醫(yī)療機(jī)構(gòu)；食品；科研單位等各個(gè)領(lǐng)域。　　HASUC非常感謝過(guò)往所有企業(yè)客戶為HASUC所提供的合作機(jī)會(huì)，并為我們的合作深感榮幸。經(jīng)過(guò)多年的努力，我們不僅對(duì)產(chǎn)品技術(shù)進(jìn)行了改進(jìn)，而且對(duì)于售前、售后服務(wù)理念也有很高的提升，我們的服務(wù)宗旨是“開(kāi)拓、拼搏、實(shí)干、奉獻(xiàn)”，一切以用戶需求為中心，希望通過(guò)專業(yè)水平和不懈努力，塑造企業(yè)品牌形象，為產(chǎn)品品牌推廣文化發(fā)展提供服務(wù)指導(dǎo)。　　我們注重品質(zhì)和服務(wù)，為打造“HASUC”的品牌形象，公司每年對(duì)銷售部、市場(chǎng)部、產(chǎn)品研發(fā)部、技術(shù)部、售后服務(wù)部各部門指導(dǎo)服務(wù)。在2012年度劃分了區(qū)域，各業(yè)務(wù)員和售后服務(wù)人員有了更遠(yuǎn)的目標(biāo)?！　」靖鞴芾頇C(jī)制開(kāi)展以來(lái)，HASUC每位員工一直秉承以用戶需求為核心，在專注全國(guó)各大中型城市市場(chǎng)開(kāi)拓的同時(shí)，也為偏遠(yuǎn)郊區(qū)的客戶提供了專項(xiàng)服務(wù)，解決了偏遠(yuǎn)地區(qū)運(yùn)輸不便的難題。優(yōu)質(zhì)、用心的服務(wù)贏得了眾多企業(yè)和個(gè)人的信賴和好評(píng)，在國(guó)內(nèi)干燥設(shè)備市場(chǎng)已樹(shù)立起公司良好品牌形象。我相信，通過(guò)我們的不斷努力和追求，一定能夠?qū)崿F(xiàn)與中小企業(yè)的互利共贏！　　在HASUC，我們不變的使命是為企業(yè)客戶提供更多品質(zhì)產(chǎn)品及優(yōu)質(zhì)服務(wù)，我們能為您做的還有更多！

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HMDS預(yù)處理真空干燥箱|真空烘箱品牌：HASUC型號(hào)：HMDS—-6090

HMDS預(yù)處理真空干燥箱|真空烘箱產(chǎn)品信息

真空干燥箱HMDS-6000系列預(yù)處理系統(tǒng)的原理：
HMDS-6000 預(yù)處理系統(tǒng)通過(guò)對(duì)真空烘箱HMDS預(yù)處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

HMDS列預(yù)處理系統(tǒng)的一般工作流程：
真空烘箱工作溫度。典型的預(yù)處理程序?yàn)椋捍蜷_(kāi)真空泵抽真空，待腔內(nèi)真牢度達(dá)到某一高真空度后，開(kāi)始充人氮?dú)?，充到達(dá)到某低真空度后，冉次進(jìn)行抽真空、充入氮?dú)獾倪^(guò)程，到達(dá)設(shè)定的充入氮?dú)獯螖?shù)后，開(kāi)始保持一段時(shí)間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開(kāi)始抽真空，充入HMDS氣體，在到達(dá)設(shè)定時(shí)間后，停止充入HMDS藥液，進(jìn)入保持階段，使硅片充分與HMDS反應(yīng)。當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時(shí)間后，再次開(kāi)始抽真空。充入氮?dú)?，完成整個(gè)作業(yè)過(guò)程。HMDS與硅片反應(yīng)機(jī)理如圖：先加熱到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應(yīng)，在硅片表而生成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。真空烤箱整個(gè)反應(yīng)持續(xù)到空間位阻(三甲基硅烷基較大)阻止其進(jìn)一步反應(yīng)。

尾氣排放等：多余的HMDS蒸汽（尾氣）將由真空泵抽出，排放到專用廢氣收集管道。在無(wú)專用廢氣收集管道時(shí)需做專門處理。

真空烤箱產(chǎn)品型號(hào)：HMDS-6210
產(chǎn)品名稱：HMDS基片預(yù)處理系統(tǒng) 充HMDS氣體真空烤箱
產(chǎn)品特點(diǎn)：在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。

真空干燥箱產(chǎn)品詳細(xì)資料：
產(chǎn)品特點(diǎn)：
1、機(jī)外殼采用不銹鋼SUS304材質(zhì)制造，內(nèi)膽為不銹鋼316L材料制成；加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周，內(nèi)膽內(nèi)無(wú)任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。
2、真空烤箱箱門閉合松緊能調(diào)節(jié)，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內(nèi)高真空度。
3、微電腦智能控溫儀，具有設(shè)定，測(cè)定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能，控溫精確，可靠。
4、智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序，溫度，真空度及每一程序時(shí)間。
5、HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì)，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無(wú)外漏顧慮。
6、整個(gè)系統(tǒng)采用優(yōu)質(zhì)材料制造，無(wú)發(fā)塵材料，適用100 級(jí)光刻間凈化環(huán)境。

HMDS 預(yù)處理系統(tǒng)的必要性：
在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，真空烤箱同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。真空烘箱將HMDS涂到硅片表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。

真空干燥箱產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)：
電源電壓：AC 380V±10%/50Hz±2%
輸入功率：3000W
控溫范圍：室溫+10℃-250℃
溫度分辨率：0.1℃
溫度波動(dòng)度：±0.5℃
達(dá)到真空度：133Pa
容積：90L
工作室尺寸（mm）：450*450*450
外形尺寸（mm）：615*590*1470
載物托架：2塊
時(shí)間單位：分鐘

真空泵：旋片式油泵。

關(guān)鍵詞：真空烘箱真空泵加熱器