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德國(guó)Sentech RIE SI 591 等離子刻蝕機(jī)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng)深圳市科時(shí)達(dá)電子科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)RIE SI 591
  • 所  在  地
  • 廠(chǎng)商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/6/16 18:54:01
  • 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù)178
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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深圳市科時(shí)達(dá)電子科技有限公司創(chuàng)建于2011年,經(jīng)過(guò)十年的發(fā)展,已經(jīng)成長(zhǎng)為一家專(zhuān)注于電子材料、半導(dǎo)體儀器設(shè)備、醫(yī)療設(shè)備三大產(chǎn)品領(lǐng)域的,是一家集研發(fā)、制造、銷(xiāo)售為一體的企業(yè)。我們的主營(yíng)業(yè)務(wù)涉及了研發(fā)銷(xiāo)售及加工電子材料及周邊產(chǎn)品;電子光電產(chǎn)品設(shè)備研發(fā)組裝及銷(xiāo)售,半導(dǎo)體儀器設(shè)備銷(xiāo)售;國(guó)內(nèi)貿(mào)易、貨物及技術(shù)進(jìn)出口;醫(yī)療器械研發(fā)及銷(xiāo)售;醫(yī)用耗材及醫(yī)療用品的銷(xiāo)售等??萍紕?chuàng)新是科時(shí)達(dá)公司的核心競(jìng)爭(zhēng)力。我們擁有一支高度專(zhuān)業(yè)化的技術(shù)研發(fā)和管理團(tuán)隊(duì),建立了國(guó)內(nèi)的實(shí)驗(yàn)室和光電研究中心,與多家科研機(jī)構(gòu)與大專(zhuān)院校開(kāi)展“產(chǎn)、學(xué)、研”合作,成功開(kāi)發(fā)出一系列具有高科技含量的市場(chǎng)產(chǎn)品,公司產(chǎn)品通國(guó)內(nèi)科研機(jī)構(gòu)的產(chǎn)品認(rèn)證。同時(shí),公司擁有電子信息領(lǐng)域相對(duì)完備的科技創(chuàng)新體系,在電子裝備、醫(yī)療設(shè)備、產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)、網(wǎng)絡(luò)安全等領(lǐng)域占據(jù)技術(shù)主導(dǎo)地位,肩負(fù)著支撐科技自立自強(qiáng)、推進(jìn)國(guó)內(nèi)科技現(xiàn)代化、加快數(shù)字經(jīng)濟(jì)發(fā)展、服務(wù)社會(huì)民生的重要職責(zé)。聚焦“三大定位”主責(zé),科時(shí)達(dá)公司按照“做優(yōu)電子裝備、做大儀器設(shè)備、做精產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)、做強(qiáng)研發(fā)銷(xiāo)售”的總體布局,持續(xù)優(yōu)化核心業(yè)務(wù)體系,推動(dòng)企業(yè)在科技現(xiàn)代化建設(shè)、現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)體系建設(shè)的核心關(guān)鍵技術(shù)節(jié)點(diǎn)上“布點(diǎn)”,在產(chǎn)業(yè)鏈價(jià)值鏈創(chuàng)新鏈關(guān)鍵環(huán)節(jié)上“成線(xiàn)”,在關(guān)系國(guó)家、國(guó)民經(jīng)濟(jì)命脈和國(guó)計(jì)民生關(guān)鍵領(lǐng)域上“控面”。做強(qiáng)電子裝備,重點(diǎn)發(fā)展利用聲、光、電磁信號(hào)進(jìn)行信息感知、傳輸、運(yùn)用等的系統(tǒng)級(jí)裝備和產(chǎn)品,打造全域多維一體新一代電子裝備,不斷夯實(shí)在高校科研領(lǐng)域和高科枝企業(yè)的提供地位。做大儀器設(shè)備,重點(diǎn)發(fā)展半導(dǎo)體儀器基礎(chǔ)設(shè)施和醫(yī)療設(shè)備應(yīng)用與整體解決方案,全面支撐基于網(wǎng)絡(luò)信息體系的聯(lián)合和全域能力提升、國(guó)家治理能力提升和數(shù)字化發(fā)展。做精產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ),重點(diǎn)打造形成電子基礎(chǔ)產(chǎn)品科研和生產(chǎn)的基礎(chǔ)支撐能力,以夯實(shí)產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈自主可控能力為根本目標(biāo),推動(dòng)以“科時(shí)達(dá)基因”為核心的銷(xiāo)售集群式發(fā)展。做強(qiáng)研發(fā)銷(xiāo)售,致力于電子產(chǎn)品的研發(fā)??茣r(shí)達(dá)公司是一家,多年來(lái)公司研發(fā)團(tuán)隊(duì)致力于電子材料、半導(dǎo)體儀器和醫(yī)療設(shè)備的研發(fā)。同時(shí)企業(yè)還致力于將產(chǎn)品做好國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)銷(xiāo)售,在整體銷(xiāo)售模式中具備一套完整的銷(xiāo)售體系。以客戶(hù)需求為導(dǎo)向,以質(zhì)量求生存,科時(shí)達(dá)公司以超凡的品質(zhì)和優(yōu)良的服務(wù),獲得國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)的一致認(rèn)可;公司營(yíng)銷(xiāo)網(wǎng)絡(luò)覆蓋,產(chǎn)品世界各地,目前已經(jīng)成為國(guó)內(nèi)電子科技行業(yè)中重要的生產(chǎn)制造基地。
德國(guó)SentechRIESI591等離子刻蝕機(jī)占地面積小且模塊化程度高SI591可配置為單個(gè)反應(yīng)腔或作為片盒到片盒裝載的多腔設(shè)備
德國(guó)Sentech RIE SI 591 等離子刻蝕機(jī) 產(chǎn)品信息

德國(guó)Sentech RIE SI 591 等離子刻蝕機(jī)



占地面積小且模塊化程度高

SI 591 可配置為單個(gè)反應(yīng)腔或作為片盒到片盒裝載的多腔設(shè)備。



SENTECH控制軟件

我們的等離子蝕刻設(shè)備包括用功能強(qiáng)大的用戶(hù)友好軟件與模擬圖形用戶(hù)界面,參數(shù)窗口,工藝窗口,數(shù)據(jù)記錄和用戶(hù)管理。



預(yù)真空室和計(jì)算機(jī)控制的等離子體刻蝕工藝條件,使得SI 591 具有優(yōu)異的工藝再現(xiàn)性和等離子體蝕刻工藝靈活性。靈活性、模塊性和占地面積小是SI 591的設(shè)計(jì)特點(diǎn)。樣品直徑大可達(dá)200mm,通過(guò)載片器加載。SI 591可以配置為穿墻式操作或具有更多選項(xiàng)的小占地面積操作。



位于頂部電極和反應(yīng)腔體的更大診斷窗口可以輕易地容納SENTECH激光干涉儀或OES和RGA系統(tǒng)。橢偏儀端口可用于SENTECH橢偏儀進(jìn)行原位監(jiān)測(cè)。


SI 591結(jié)合了計(jì)算機(jī)控制的RIE平行板電極設(shè)計(jì)的優(yōu)點(diǎn)和預(yù)真空室系統(tǒng)。SI 591可配置用于各種材料的刻蝕。在SENTECH,我們提供不同級(jí)別的自動(dòng)化程度,從真空片盒載片到一個(gè)工藝腔室或多六個(gè)工藝模塊端口,可用于不同的蝕刻和沉積工藝模塊組成多腔系統(tǒng),目標(biāo)是高靈活性或高產(chǎn)量。SI 591也可用作多腔系統(tǒng)中的一個(gè)工藝模塊。



工藝靈活性

RIE蝕刻機(jī)SI 591 特別適用于氯基和氟基等離子蝕刻工藝


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