一、電子探針顯微鏡臺(tái)應(yīng)用原理：  

（1）KT-Z160T-RL該探針臺(tái)的承載臺(tái)為60x60不銹鋼臺(tái)面，臺(tái)面最1高可升溫到最1高350℃。真空腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口。探針臂為X/Y/Z三軸移動(dòng)，三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下精密移位調(diào)節(jié)。  

（2）其中X方向調(diào)節(jié)范圍：0－30mm；y方向調(diào)節(jié)范圍：0－20mm；z方向調(diào)節(jié)范圍：0－20mm；用戶(hù)可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時(shí)將需檢測(cè)的器件固定在加熱臺(tái)上，再微調(diào)探針支架X/Y/Z方向行程，通過(guò)顯微鏡觀察，使探針對(duì)準(zhǔn)檢測(cè)點(diǎn)后，即可進(jìn)行檢測(cè)。  

二、技術(shù)組織規(guī)格：  

1．腔體材質(zhì)：304不銹鋼  

2．上蓋開(kāi)啟：鉸鏈側(cè)開(kāi)  

3．加熱臺(tái)材質(zhì)：304不銹鋼  

4．內(nèi)腔體尺寸：φ160x90mm  

5．觀察窗尺寸：Φ70mm  

6．加熱臺(tái)尺寸：φ60mm  

7．觀察窗熱臺(tái)間距：75mm  

8．加熱臺(tái)溫度：-196-350℃  

9．加熱臺(tái)溫控誤差：±1℃  

10．真空度：機(jī)械泵≤10Pa分子泵≤10-3Pa  

11．允許正壓：≤0.1MPa  

12．真空抽氣口：KF25真空法蘭  

13．氣體進(jìn)氣口：3mm-6mm卡套接頭  

14．電信號(hào)接頭：SMA轉(zhuǎn)BNCX4  

15．電學(xué)性能：絕緣電阻≥4000MΩ介質(zhì)耐壓≤500V漏電流≤-10次方安培  

16．探針數(shù)量：4探針  

17．探針材質(zhì)：鍍金鎢針  

18．探針尖：10μm  

19．X軸移動(dòng)行程：30mm±15mm  

20．X軸控制精度：≤0.01mm  

21．Y軸移動(dòng)行程：13mm±12.5mm  

22．Y軸控制精度：≤0.01mm  

23．Z軸移動(dòng)行程：13mm±12.5mm  

24．Z軸控制精度：≤0.01mm  

25．顯微鏡類(lèi)別：物鏡  

26．物鏡倍數(shù)：0.7-4.5倍  

27．工作間距：90mm  

28．相機(jī)：sony高清  

29．像素：1920※1080像素  

三、企業(yè)概括：  

（1）鄭州科探儀器設(shè)備有限公司是集開(kāi)發(fā)、制造、經(jīng)營(yíng)為一體的材料設(shè)備創(chuàng)新型企業(yè)，如今公司的產(chǎn)品已經(jīng)遍布國(guó)內(nèi)大多數(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室及科1學(xué)1院校，科探儀器已經(jīng)成為老師同學(xué)歡迎和信任的品牌之一。  

（2）公司以科技創(chuàng)新為主，服務(wù)社會(huì)為宗旨，積極設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)新型材料制備設(shè)備，奉獻(xiàn)于教育和科學(xué)，經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期的研發(fā)和不斷地技術(shù)積累，擁有熱工，制造，控制相關(guān)技術(shù)10余項(xiàng)，為化學(xué)，物理，材料，電子，高分子工程，新材料制備和研發(fā)領(lǐng)域的科學(xué)研究提供了精良設(shè)備。公司通過(guò)和院校老師同學(xué)強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合，形成了有效的信息，技術(shù)交流平臺(tái)，為科探儀器了解市場(chǎng)需求提供了強(qiáng)有力的支持！  

（3）目前公司已研發(fā)生產(chǎn)產(chǎn)品十多個(gè)系列幾十款產(chǎn)品，產(chǎn)品囊括實(shí)驗(yàn)電爐CVD供氣系統(tǒng)等離子清洗機(jī)小型離子濺射儀小型蒸鍍儀石英管真空封口電子探針顯微鏡半導(dǎo)體檢測(cè)等。主要適用于科研院校及工礦企業(yè)在新材料、新能源等領(lǐng)域物理特性及化學(xué)特性的研究，廣銷(xiāo)于各大院校，及材料研究所。  

（4）公司與國(guó)內(nèi)高校，科研院所有多層次的合作關(guān)系，建有開(kāi)放實(shí)驗(yàn)室，相關(guān)領(lǐng)域的教授、高級(jí)工程師、博士參與公司產(chǎn)品的研究和開(kāi)發(fā)。我們秉承公司的發(fā)展理念，依靠嚴(yán)謹(jǐn)?shù)募夹g(shù)研發(fā)能力，科學(xué)合理的生產(chǎn)工藝，精益求精的制造要求，全心全意做好產(chǎn)品質(zhì)量和服務(wù)工作，科探儀器時(shí)刻懷著一顆真誠(chéng)的心期待與您的合作。