二手刻蝕機現(xiàn)貨供應(yīng)MATRIX SYSTEM ONE 106,1995年設(shè)備,可對4-6英寸的晶圓進行蝕刻工藝加工。
制造商:MATRIX
型號:SYSTEM ONE 106
類別:ETCHERS / ASHERS
年份:1995
晶圓尺寸:4"-6"
設(shè)備詳細信息:
自動光刻膠剝離器,4“-6”
單晶片
單盒
微處理器控制的自動光刻膠剝離機
射頻功率
溫度
氣流
基板位置
交錯電極組件
蝶閥
相位幅度檢測器
閉環(huán)控制
整體晶圓冷卻站
卡盤溫度的閉環(huán)控制
(2) 質(zhì)量流量控制器(MFC):1x5 SLPM和1x300 SCCM
晶圓銷提升組件(上下)
范圍:
鋼帶:150°C-250°C(±5°C)
溫度:100攝氏度-150攝氏度(±5攝氏度)
1995年份。