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日本yamato大和等離子清洗機(jī)PDC200/PDC210

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公司名稱深圳市環(huán)越精度科技有限公司
品牌
型號(hào)PDC200/PDC
所在地
廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2023/8/28 11:28:39
訪問次數(shù)300

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

　　環(huán)越精度-一站式儀器、設(shè)備、工具供應(yīng)商　　深圳市環(huán)越精度科技有限公司位于中國(guó)***經(jīng)濟(jì)特區(qū)-廣東省深圳市，是一家從事測(cè)試、測(cè)量產(chǎn)品銷售、制造與維修的*性企業(yè)?！　碛?配套與維護(hù)的人力資源，是公司創(chuàng)立的根本，公道的價(jià)格、優(yōu)質(zhì)的服務(wù)是公司賴以發(fā)展的經(jīng)營(yíng)理念?！　∽怨境闪⒁詠?，與國(guó)內(nèi)外眾*品牌廠商建立了良好的合作關(guān)系，始終堅(jiān)持“質(zhì)量*,用戶***”服務(wù)宗旨，誠(chéng)摯期待與您的合作與交流，共謀發(fā)展,共創(chuàng)輝煌!

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日本yamato大和等離子清洗機(jī)PDC200/PDC210

日本yamato大和等離子清洗機(jī)PDC200/PDC210 產(chǎn)品信息

日本yamato大和等離子清洗機(jī)PDC200/PDC210/PDC510

研究開發(fā)用*適合等離子清洗機(jī)

主要特點(diǎn)：

RIE模式標(biāo)配（DP切換為選購(gòu)）
等離子的均應(yīng)性高操作簡(jiǎn)單的液晶觸摸屏控制面

用途：

CSB/BGA/COB基板的等離子處理
有機(jī)膜和金屬氧化膜的除去
印刷電路基板的干洗
界面活性處理

技術(shù)參數(shù)：

型號(hào)	PDC200	PDC210	PDC510
模式	RIE模式（DP選配）	DP模式	DP/RIE切換方式
電極構(gòu)造	平行平板電極（固定）
高頻輸出功率	MAX300W	Max 500W
頻率	13.56MHz
控制方式	自動(dòng)聯(lián)動(dòng)，液晶觸摸屏控制
反應(yīng)室尺寸	400×250×150mm		500×300×200
電極尺寸	250×170mm		400×200mm
反應(yīng)室材質(zhì)	一次性一體成型鋁腔（防腐蝕，可對(duì)應(yīng)CF₄）
反應(yīng)氣體	2系統(tǒng)（Ar/O₂）
填充氣體	N2/潔凈干燥空氣
反應(yīng)氣體流量控制	流量計(jì)	聚合控制器
真空泵	另行選配	油回旋真空泵（排氣量345L/min）	油回旋真空泵（排氣量500L/min）
氣體導(dǎo)入口	反應(yīng)氣體2套，填充氣體1套
外型尺寸	540×600×600mm	540×600×600mm	700×700×700mm
電源	單相AC100V 15A 50/60Hz	三相AC100V 15A 50/60Hz