碳化硅HMDS烘箱的背景
碳化硅作為第三代半導(dǎo)體材料的典型代表,也是目前晶體生產(chǎn)技術(shù)和器件制造水平成熟,應(yīng)用廣泛的寬禁帶半導(dǎo)體材料之一,目前已經(jīng)形成了全球的材料、器件和應(yīng)用產(chǎn)業(yè)鏈。
碳化硅(SiC)是由硅(Si)和碳(C)組成的化合物半導(dǎo)體材料。其結(jié)合力非常強(qiáng),在熱、化學(xué)、機(jī)械方面都非常穩(wěn)定。SiC存在各種多型體(多晶型體),它們的物理特性值各有不同。
碳化硅HMDS烘箱,SiC襯底HMDS烤箱的作用
HMDS烘箱將HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中氮化鎵(GaN)和、碳化硅(SiC)、硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后,經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。
碳化硅HMDS烘箱,SiC襯底HMDS烤箱主要性能:
空間(mm):300*300*300
450*450*450
600*600*600,可定制
適用產(chǎn)品:兼容1-12寸晶圓及碎片
溫度范圍:RT+10-250℃
溫度穩(wěn)定度:≤±0.5℃
真空度:≤133pa(1torr)
材質(zhì):316L不銹鋼+冷軋板噴塑
HMDS系統(tǒng):密閉設(shè)計(jì),自動(dòng)開啟,數(shù)據(jù)可設(shè)定
液位計(jì):低液位報(bào)警
儲(chǔ)液瓶:HMDS儲(chǔ)液量1000ml
真空泵:無油渦旋真空泵
運(yùn)行時(shí)間:20Min
計(jì)量單位:S/Pa
運(yùn)行方式:自動(dòng)運(yùn)行
進(jìn)氣:N2
排氣:有機(jī)排放
電源:220V、50-60HZ
功率:2800W