高精度光學材料的應(yīng)力雙折射測量
可通過自動拼接測量大口徑光學窗口
測量速度快,空間分辨率高
可以測量浸沒于折射率液中的大尺寸樣品
主機口徑:?115 mm
單口徑測量時間:10 sec
空間分辨率:0.08 mm
被測樣品尺寸:500 mm x 600 mm
子孔徑測量次數(shù):7 x 7 (max.)
拼接測量時間:< 15 min
設(shè)備形式:光軸水平設(shè)計
光源:單LED準直光源,波長625±10 nm
負荷:500 kg(包括樣品臺)
探測器像素:1200 x 1000 pixels
通光口徑:89 mm x 74 mm ,單次測量時間<10 sec 可自動拼接測試
運動行程:水平方向:600 mm,垂直方向:500 mm
樣品尺寸:長:600 mm;寬:500 mm;厚:200 mm
樣品形狀:表面平行且拋光, 直接透過率>50% @610...640nm
雙折射測量范圍:0-100 nm
空腔基線穩(wěn)定性(值的標準差):≤0.05 nm
重復性:CaF2標樣重復12次測量值的標準差 ≤0.05 nm