德國Thyracont斯拉特Smartline超高真空真空規(guī)VSH87D、VSH87DL、VSH87E、VSH88D、VSH88DL、VSH88E、VSH89D、VSH89DL、VSH89E。VSH(比VSM精度更高）Smartline 真空計絕壓1000到5×10-10mbar從大氣壓到超高真空的壓力，數(shù)顯真空計VSH皮拉尼/熱陰極）都可以測量。微控制器可以自動控制兩個真空傳感器間的相互作用。Smartline真空計著在安全、精確、價廉的技術向前發(fā)展。
典型應用：
·分析儀器
·涂料廠和氣相沉積
·濺射廠
·測量和控制超高真空
·真空爐
·過程控制
·空間模擬
優(yōu)點：
·傳感器測量范圍廣Pirani/Bayard Alpert
·Pirani自動控制熱陰極傳感器
·Pirani傳感器可以保證熱陰極在低壓時的正常操作，延長使用壽命
·高精度和良好的重復性
·真空過程中熱和電的干擾小
·測量單元體積小，例如VSH88D是20CM3
·Bayard-Alpert防風、涂釔雙纖
·空氣入侵不影響測量
·LED顯示儀器狀態(tài)和開關點
·傳感器可更換
·Pirani和熱陰級傳感器的不同氣體的校正因子可以校準壓力讀數(shù)
·可以連接Thyracont公司生產(chǎn)的2通道或4通道的顯示器VD12/VD10
·RS485接口和其它模擬輸出信號1.219-8.6V或EtherCAT
·通過按鍵或接口調(diào)整零點和大氣壓
·LCD顯示（VSH88DL、VSH89DL）
·如果出現(xiàn)錯誤，屏幕閃爍紅色，正常工作狀態(tài)是綠色(VSH88DL，VSH89DL）
·和PLC連接方便
·數(shù)據(jù)可以遠程傳輸（最遠距離500米)
·波特率9.6kBd到115kBd
·金屬外殼，結實耐用
·通過不銹鋼小法蘭DN 40 ISO-KF或conflat法蘭DN 40 CF-F真空連接
技術參數(shù)
技術參數(shù)
測量原理： Pirani/Bayard Alpert（依據(jù)氣體不同）
真空接觸材質(zhì)： 不銹鋼1.4307、Ni、W、PI、釔涂銥、玻璃
測量范圍： 1000到5×10-10mbar（750到5×10-10torr），過壓4bar
精度： 1000到10mbar:<30%讀數(shù)
10到1×10-8mbar:<10%讀數(shù)
重復性： ±2%（10到1×10-2mbar），5%（1×10-2到1×10-8mbar）
響應時間： <200ms（開關BA發(fā)射電流時是2秒）
放射電流： 自動開關10μA,100μA，1mA，2mA
Degas： 正極通電加熱
供電電壓： 20到30VDC
電氣連接： VSH88D/DL,VSH89D/DL:SubD,15針,male,lockable
VSH88E,VSH89E:M12圓形接頭,female,lockable
1x標準A,5針,2x密碼D,4針
電流： 8W，同時1Wf.degas和0.8Wf.EtherCAT/繼電器/LCD
操作溫度： 5到60℃
存儲溫度： -40到65℃
烘烤溫度： 法蘭（電氣分離）上的溫度180℃
輸出信號： 0到10VDC，測量范圍1.219-8.6VDC，log.，0.6V/等級
負載電阻： >10KΩ(VSH88D/DL,VSH89D/DL)
串行接口： RS485:9.6kBit/s到115kBit/s，開關地址1-16
開關點： 2個開關繼電器，50VAC/2A,30VDC/2A,60VA
真空連接： DN 40 ISO-KF（VSH88),DN 40 CF-F（VSH89)
防護等級： IP54（VSH88E,VSH89E),IP40(VSH88D/DL,VSH89D/D)
重量： 約555克
訂貨代碼：
·VSH88D
真空計Pirani/Bayert Alpert，1000到5×10-10mabr，DN 40 ISO-KF連接，輸出0-10V log和RS485
·VSH88DL
同VSH88D，帶顯示
·VSH88E
同VSH88D，輸出RS485和EtherCAT
·VSH89D
真空計Pirani/Bayert Alpert，1000到5×10-10mabr，DN 40 CF-F連接，輸出0-10V log和RS485
·VSH89DL
同VSH89D，帶顯示
·VSH89E
同VSH89D，輸出RS485和EtherCAT
配件：
·W1515002
帶VD12和VD10的真空計VSH88D/DL和VSH89D/DL的連接線，線長2米
·W1515006
同W1515002，線長6米
·W1515020
同W1515002，線長20米
·B_VSH88
傳感器探頭，DN 40 ISO-KF，f.VSH88
·B_VSH89
傳感器探頭，DN 40 CF-F，f.VSH89
