德國(guó)Thyracont斯拉特Smartline超高真空真空規(guī)VSH87D、VSH87DL、VSH87E、VSH88D、VSH88DL、VSH88E、VSH89D、VSH89DL、VSH89E。VSH(比VSM精度更高）Smartline 真空計(jì)絕壓1000到5×10-10mbar從大氣壓到超高真空的壓力，數(shù)顯真空計(jì)VSH皮拉尼/熱陰極）都可以測(cè)量。微控制器可以自動(dòng)控制兩個(gè)真空傳感器間的相互作用。Smartline真空計(jì)著在安全、精確、價(jià)廉的技術(shù)向前發(fā)展。
典型應(yīng)用：
·分析儀器
·涂料廠和氣相沉積
·濺射廠
·測(cè)量和控制超高真空
·真空爐
·過(guò)程控制
·空間模擬
優(yōu)點(diǎn)：
·傳感器測(cè)量范圍廣Pirani/Bayard Alpert
·Pirani自動(dòng)控制熱陰極傳感器
·Pirani傳感器可以保證熱陰極在低壓時(shí)的正常操作，延長(zhǎng)使用壽命
·高精度和良好的重復(fù)性
·真空過(guò)程中熱和電的干擾小
·測(cè)量單元體積小，例如VSH88D是20CM3
·Bayard-Alpert防風(fēng)、涂釔雙纖
·空氣入侵不影響測(cè)量
·LED顯示儀器狀態(tài)和開關(guān)點(diǎn)
·傳感器可更換
·Pirani和熱陰級(jí)傳感器的不同氣體的校正因子可以校準(zhǔn)壓力讀數(shù)
·可以連接Thyracont公司生產(chǎn)的2通道或4通道的顯示器VD12/VD10
·RS485接口和其它模擬輸出信號(hào)1.219-8.6V或EtherCAT
·通過(guò)按鍵或接口調(diào)整零點(diǎn)和大氣壓
·LCD顯示（VSH88DL、VSH89DL）
·如果出現(xiàn)錯(cuò)誤，屏幕閃爍紅色，正常工作狀態(tài)是綠色(VSH88DL，VSH89DL）
·和PLC連接方便
·數(shù)據(jù)可以遠(yuǎn)程傳輸（最遠(yuǎn)距離500米)
·波特率9.6kBd到115kBd
·金屬外殼，結(jié)實(shí)耐用
·通過(guò)不銹鋼小法蘭DN 40 ISO-KF或conflat法蘭DN 40 CF-F真空連接
技術(shù)參數(shù)
技術(shù)參數(shù)
測(cè)量原理： Pirani/Bayard Alpert（依據(jù)氣體不同）
真空接觸材質(zhì)： 不銹鋼1.4307、Ni、W、PI、釔涂銥、玻璃
測(cè)量范圍： 1000到5×10-10mbar（750到5×10-10torr），過(guò)壓4bar
精度： 1000到10mbar:<30%讀數(shù)
10到1×10-8mbar:<10%讀數(shù)
重復(fù)性： ±2%（10到1×10-2mbar），5%（1×10-2到1×10-8mbar）
響應(yīng)時(shí)間： <200ms（開關(guān)BA發(fā)射電流時(shí)是2秒）
放射電流： 自動(dòng)開關(guān)10μA,100μA，1mA，2mA
Degas： 正極通電加熱
供電電壓： 20到30VDC
電氣連接： VSH88D/DL,VSH89D/DL:SubD,15針,male,lockable
VSH88E,VSH89E:M12圓形接頭,female,lockable
1x標(biāo)準(zhǔn)A,5針,2x密碼D,4針
電流： 8W，同時(shí)1Wf.degas和0.8Wf.EtherCAT/繼電器/LCD
操作溫度： 5到60℃
存儲(chǔ)溫度： -40到65℃
烘烤溫度： 法蘭（電氣分離）上的溫度180℃
輸出信號(hào)： 0到10VDC，測(cè)量范圍1.219-8.6VDC，log.，0.6V/等級(jí)
負(fù)載電阻： >10KΩ(VSH88D/DL,VSH89D/DL)
串行接口： RS485:9.6kBit/s到115kBit/s，開關(guān)地址1-16
開關(guān)點(diǎn)： 2個(gè)開關(guān)繼電器，50VAC/2A,30VDC/2A,60VA
真空連接： DN 40 ISO-KF（VSH88),DN 40 CF-F（VSH89)
防護(hù)等級(jí)： IP54（VSH88E,VSH89E),IP40(VSH88D/DL,VSH89D/D)
重量： 約555克
訂貨代碼：
·VSH88D
真空計(jì)Pirani/Bayert Alpert，1000到5×10-10mabr，DN 40 ISO-KF連接，輸出0-10V log和RS485
·VSH88DL
同VSH88D，帶顯示
·VSH88E
同VSH88D，輸出RS485和EtherCAT
·VSH89D
真空計(jì)Pirani/Bayert Alpert，1000到5×10-10mabr，DN 40 CF-F連接，輸出0-10V log和RS485
·VSH89DL
同VSH89D，帶顯示
·VSH89E
同VSH89D，輸出RS485和EtherCAT
配件：
·W1515002
帶VD12和VD10的真空計(jì)VSH88D/DL和VSH89D/DL的連接線，線長(zhǎng)2米
·W1515006
同W1515002，線長(zhǎng)6米
·W1515020
同W1515002，線長(zhǎng)20米
·B_VSH88
傳感器探頭，DN 40 ISO-KF，f.VSH88
·B_VSH89
傳感器探頭，DN 40 CF-F，f.VSH89
