臺(tái)式勻膠機(jī):(Spin Coater)適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合硅片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠。
鑫有研公司作為中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)技術(shù)的企業(yè),采用技術(shù)設(shè)計(jì)制造的KW型勻膠機(jī),被中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)CSIA廣泛推薦應(yīng)用在半導(dǎo)體微電子行業(yè)。產(chǎn)品榮獲:中國(guó)質(zhì)量500強(qiáng),中國(guó)品牌500強(qiáng),中國(guó)誠(chéng)信品牌,中國(guó),等榮譽(yù)
產(chǎn)品概述:
鑫有研品牌系列KW型勻膠機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆.該產(chǎn)品穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動(dòng),可以保證半導(dǎo)體中膠厚度的一致性和均勻性,這正是KW型均勻膠機(jī)的特點(diǎn).
鑫有研公司勻膠機(jī)在這方面采取了許多技術(shù):
(一)該設(shè)備采用技術(shù),使用進(jìn)口配件(韓國(guó)進(jìn)口定子和轉(zhuǎn)子,直流電機(jī)) 使高轉(zhuǎn)速加速度更加穩(wěn)定,控制更加精確.電機(jī)采用新型直流永磁電機(jī)抗電磁干擾.
(二)定子和轉(zhuǎn)子分開供電.定子用穩(wěn)定電源供勵(lì)磁電流,轉(zhuǎn)子用開關(guān)電源調(diào)速,它比可用控硅調(diào)速*得多,轉(zhuǎn)速在1000~8000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定.在未取得真空的狀態(tài)不會(huì)轉(zhuǎn)到,保證了使用的可靠性.
(三)本勻膠機(jī)有兩個(gè)轉(zhuǎn)速.在啟動(dòng)之后,先以低速運(yùn)轉(zhuǎn),使膠攤開,然后自動(dòng)變到高速運(yùn)轉(zhuǎn).兩種轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時(shí)間分別可調(diào).
(四)本勻膠機(jī)測(cè)速采用光電的辦法,在光電測(cè)速盤的邊上有三個(gè)缺口,(反射帶和吸收帶)分布于盤的周圍,盤邊的下面安裝有光電開關(guān),光源照到光電經(jīng)反射到接收器,產(chǎn)生光電脈沖,測(cè)速盤旋轉(zhuǎn)一周,產(chǎn)生 三個(gè)脈沖.閘門由秒脈沖電路產(chǎn)生,周期為兩秒.當(dāng)馬達(dá)旋轉(zhuǎn)時(shí),如果計(jì)時(shí)器在2秒內(nèi)計(jì)的得數(shù)是n,則每分鐘應(yīng)該轉(zhuǎn)了n/(2x3)=n/6轉(zhuǎn),每分鐘旋轉(zhuǎn)(n/6)x60=10n轉(zhuǎn).故計(jì)數(shù)器就是每分鐘轉(zhuǎn)速,只不過差一個(gè)數(shù)量級(jí).
(五)"吸片"采用電磁閥控制氣路,這樣適合流水線的工藝,一個(gè)氣泵可同時(shí)帶幾個(gè)勻膠機(jī)工作,提高了效率.
(六)勻膠機(jī)的定時(shí)功能由時(shí)基電路556來完成,把556按單穩(wěn)形式連接,改變RC常數(shù),就可以改變兩個(gè)勻膠時(shí)間.
(七)智能型調(diào)節(jié)勻膠時(shí)間,時(shí)間分別控制在1~18秒和3秒~1分鐘.
(八)在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減振措施,保證了在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)噪音很低,保證涂覆表面均勻,保證通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)涂覆厚度.
注*勻膠機(jī)配真空泵使用(推薦配套使用雙級(jí)無油環(huán)保真空泵 SK-65C型)
性能指標(biāo):
1:特點(diǎn)是雙轉(zhuǎn)速勻膠機(jī),兩檔轉(zhuǎn)速及勻膠時(shí)間分別連續(xù)控制,在啟動(dòng)后先低速運(yùn)轉(zhuǎn),經(jīng)幾秒鐘后自動(dòng)轉(zhuǎn)換到高速運(yùn)轉(zhuǎn).也可單獨(dú)使用低轉(zhuǎn)速或者高轉(zhuǎn)速
Ⅰ檔 調(diào)速范圍:500-2000轉(zhuǎn)/分 Ⅰ檔 勻膠時(shí)間:2-18秒
Ⅱ檔 調(diào)速范圍:1300-8000轉(zhuǎn)/分 Ⅱ檔 勻膠時(shí)間:3-60秒
2:LED數(shù)字顯示,轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度:±1% ,膠的均勻性:±3% .
3:電源電壓:220V/ 50Hz
4:電機(jī)功率:40W
5:適用:Φ5-Φ100mm硅片或其它材料的勻膠.(備有各種型號(hào)托盤選購(gòu)或者免費(fèi)特殊訂制)
6:真空泵抽氣速率 ≥60L/S
7:產(chǎn)品體積小,重量輕,操作簡(jiǎn)便,易維護(hù)
勻膠機(jī)主體尺寸:210×220×160 mm
成功合作世界500強(qiáng)企業(yè)榮譽(yù)客戶:
美國(guó)杜邦,通用GE,霍尼韋爾,巴斯夫,3M,比亞迪,富士康,東麗纖維,正泰電氣等
國(guó)外高校參考:
美國(guó)賓西法尼亞州大學(xué),美國(guó)阿克倫大學(xué),美國(guó)加利福尼亞大學(xué)伯克利分校,加拿大皇后大學(xué),加拿大戴爾豪斯大學(xué),德國(guó)明斯特大學(xué),新加坡國(guó)立大學(xué),韓國(guó)江南大學(xué),瑞士聯(lián)邦理工大學(xué)等
中國(guó)高校參考:
香港城市大學(xué),香港理工大學(xué),香港科技大學(xué),中國(guó)臺(tái)灣大學(xué),北京大學(xué),清華大學(xué),復(fù)旦大學(xué),南京大學(xué),廈門大學(xué),電子科技大學(xué),哈爾濱工業(yè)大學(xué),哈爾濱理工大學(xué),武漢大學(xué),北京工業(yè)大學(xué),北京科技大學(xué),四川大學(xué) ,中國(guó)地質(zhì)大學(xué),東北大學(xué),天津大學(xué),貴州大學(xué),西南師范大學(xué),香港電訊學(xué)院,陜西師范大學(xué),北京石油化工學(xué)院,西南大學(xué),中南大學(xué),中國(guó)石油大學(xué),北京交通大學(xué),哈爾濱工程大學(xué),西安交通大學(xué),四川師范大學(xué),同濟(jì)大學(xué),東華大學(xué),西南交通大學(xué),內(nèi)蒙古科技大學(xué),山東大學(xué)等
研究機(jī)構(gòu):
國(guó)家建筑材料檢測(cè)中心,國(guó)家電光源質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心,國(guó)家納米科技中心,光電技術(shù)研究所,上海技術(shù)物理所,上海硅酸鹽研究所,蘭州化學(xué)所,上海應(yīng)用物理研究所,長(zhǎng)春應(yīng)用化學(xué)物理所,北京半導(dǎo)體研究所,北京化學(xué)所,過程工程研究所,中國(guó)振華集體,富士康納米中心,中國(guó)臺(tái)灣抗體國(guó)際公司,韓國(guó)KIM公司,香港天美國(guó)際公司,等微電子機(jī)構(gòu)企業(yè)。
品牌認(rèn)證與榮譽(yù)
本公司產(chǎn)品榮獲“中國(guó)質(zhì)量500強(qiáng)” 證書編號(hào)TOP500-201000608
本公司品牌榮獲“中國(guó)品牌500強(qiáng)” 證書編號(hào)2010ZGLXPP616
本品牌勻膠機(jī)質(zhì)量技術(shù)和服務(wù)具有ISO9001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證
本品牌勻膠機(jī)已獲得國(guó)際商標(biāo)證書:SIYOUYEN 鑫有研 國(guó)際商標(biāo)注冊(cè)證號(hào)4925464
本品牌勻膠機(jī)在中國(guó)已被頒布認(rèn)證為:中國(guó)商標(biāo),證書編號(hào)E080120848
本品牌勻膠機(jī)獲得全國(guó)高科技產(chǎn)業(yè)品牌推進(jìn)委員會(huì)認(rèn)證,證書號(hào) CHCB0138
鑫有研電子科技有限公司榮獲2019年公示AAA信用企業(yè)、AAA信用品牌等資質(zhì)認(rèn)證
公示 .cn/aaajizixindengji/v6542.html
2021年新款技術(shù)升級(jí)型(英文面版)