| 品牌 | 賽奧特（SAT) | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) |
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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子,汽車(chē),電氣,綜合 |
賽奧特（SAT)/射頻（RF)等離子體/SAT 520Pro
一 應(yīng)用領(lǐng)域
賽奧特（SAT)/射頻（RF)等離子體/SAT 520Pro適用于材料科學(xué)、光學(xué)、光電子學(xué)、生命科學(xué)、電子學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體、高分子科學(xué)、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域.
二 主要實(shí)驗(yàn)應(yīng)用 1.表面清潔 2.表面活化 3.鍵合 4.去膠 5.金屬還原 6.簡(jiǎn)單刻蝕 7.去除表面有機(jī)物 8.疏水實(shí)驗(yàn) 9.沉積實(shí)驗(yàn) 10.形成新的基團(tuán) 11.鍍膜前處理等
三 技術(shù)特點(diǎn)
※1.實(shí)時(shí)檢測(cè)和顯示真空度,使得設(shè)備在智能控制下有了可靠的依據(jù).
※2.真空值可自由設(shè)定,(范圍:10—60帕)為外加氣體提供了可靠的輝光啟動(dòng)環(huán)境,為輝光純度提供了有利的保障,保證了實(shí)驗(yàn)效果的準(zhǔn)確性和可靠性.
3.真空腔體采用鉸鏈側(cè)開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu)，帶有觀察窗，材料為6061材質(zhì).
4.腔體、管路、閥體全部為不銹鋼材料.
※5.電容式（CCP）激發(fā),實(shí)驗(yàn)效果穩(wěn)定,均勻可靠,電極板置于樣品倉(cāng)內(nèi)頂部懸掛.
6.采用觸摸屏顯示控制，手動(dòng)，自動(dòng)兩種模式任意切換.
7.程序化設(shè)計(jì)，預(yù)先編輯好程序，儀器自動(dòng)完成實(shí)驗(yàn).
8.利用氣體電離后產(chǎn)生的等離子體的反應(yīng)活性與材料表面發(fā)生的物理或者化學(xué)反應(yīng)，使材料表面成分、組成和結(jié)構(gòu)發(fā)生變化，并能得到某些特定的基團(tuán)。
9.無(wú)需耗材,使用成本低,無(wú)需特殊進(jìn)行維護(hù),在日常使用中保持儀器清潔即可。
四 技術(shù)規(guī)格
1.樣品腔體尺寸：255(深度)X155（直徑）mm ，不銹鋼材質(zhì).
2.放置樣品托盤(pán)尺寸:150(寬)X230（長(zhǎng)）mm，材質(zhì)：6061鋁氧化本色
※3.射頻頻率：13.56MHz，配置自動(dòng)匹配器.
※4.射頻功率:150W，0到150W可調(diào)，精度：1瓦.
※5.輝光放電功率：10W--150W
6.輝光放電時(shí)間設(shè)定：1秒到99分59秒.
※7.氣路設(shè)置:3氣路（2路進(jìn)氣，一路放空）.
※8.工作氣體穩(wěn)定時(shí)間:可調(diào)，可設(shè)定，范圍：0--180秒.
※9.進(jìn)氣控制：兩路質(zhì)量流量計(jì)（MFC）控制.
10.工作氣體:空氣/氮?dú)?span>/氬氣/氮?dú)浠旌蠚?span>/氬氦混合氣等均可; 也可接入無(wú)腐蝕性、無(wú)毒的工作液體溶液，例如:六甲基二硅氧烷(HMDSO)，接入工作液體需要選配接枝儀來(lái)配套使用。
11.進(jìn)氣壓力：通入空氣時(shí)常壓，接入鋼瓶時(shí)，鋼瓶進(jìn)氣壓力調(diào)整到0.1-0.2Mpa
12.供電電源：~220V／50Hz
13.外形尺寸（寬*深*高）mm:440ⅹ490ⅹ485
14.整機(jī)重量（約）：30Kg
五 真空泵
標(biāo)準(zhǔn)配置為機(jī)械油泵：1）抽速:2升/秒 2）極限壓強(qiáng)：6*10-2帕 3）噪音;≤66db 4）抽氣KF16法蘭接口，排氣口KF25接口 5）電源線(xiàn)為陰插線(xiàn)
六 基本配置
主機(jī)+真空系統(tǒng)（雙極機(jī)械真空油泵、油霧過(guò)濾器、真空管、KF16法蘭）、外加氣體軟管、樣品托盤(pán)、說(shuō)明書(shū)、電源線(xiàn)、合格證
七選配件
（一）機(jī)械油泵 型號(hào)：VRD-8
1.抽速:2.2升/秒 2.極限壓強(qiáng)：≤5*10-2帕 3.噪音;≤56db 4.工作環(huán)境溫度：5—45
（二）干泵（1） 型號(hào)：GWSP150
1.抽速:2升/秒 2.極限壓強(qiáng)：≤6帕 3.噪音;≤57db
4.工作環(huán)境溫度：5--45℃
干泵（2）型號(hào)： SPH10
1.抽速:2.8升/秒 2.極限壓強(qiáng)：≤2帕 3.噪音;≤55db
4.工作環(huán)境溫度：5--45℃
