安全至上
高壓線多重防護(hù)；外殼良好接地；真空互鎖；系統(tǒng)
自動(dòng)防護(hù)性切斷濺射；實(shí)體按鍵，安全
注重用戶體驗(yàn)
5英寸液晶屏，簡(jiǎn)潔明了;
可多設(shè)置兩個(gè)參數(shù)，即可開始工作；
系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)整真空度，無需人工調(diào)節(jié)針閥;
自動(dòng)放氣；樣品臺(tái)高度可調(diào)節(jié)
信息量大
濺射過程中真空度和濺射電流以曲線方式實(shí)時(shí)顯示，簡(jiǎn)單直觀；
靶材使用時(shí)間，儀器使用時(shí)間系統(tǒng)自動(dòng)記錄，直觀了解設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)
快速上手
設(shè)備內(nèi)置操作向?qū)?，在操作人員更換時(shí)，無需培訓(xùn)，即可快速熟練操作設(shè)備
主要參數(shù)
輸入電壓：AC220V±10%，50Hz
工作電壓：DC2400V
大功率：（主機(jī)與機(jī)械泵） 500W
可選靶材：金、鉑、銀、銅、鋁、鉛等常用金屬
真空泵：兩級(jí)直聯(lián)旋片式真空泵 1L/s
真空腔：φ128×130mm
樣品杯：φ90×1 / φ25×4 / φ15×6
整機(jī)尺寸：（長(zhǎng)×寬×高） 424×271×255（mm）
重量（主機(jī)）： 11 kg
工作環(huán)境：溫度 5～40℃，濕度<60%
存儲(chǔ)環(huán)境：溫度-10~60℃，濕度<80%
工作氣體：Air / Ar
保護(hù)功能：過流、真空雙保護(hù)
